Je! ni michakato gani ya mashine ya mipako ya utupu? Kanuni ya kazi ni nini?

Themipako ya utupuMchakato wa mashine umegawanywa katika: mipako ya uvukizi wa utupu, mipako ya sputtering ya utupu na mipako ya ion ya utupu.

1, Mipako ya uvukizi wa utupu

Chini ya hali ya utupu, kufanya nyenzo evaporated, kama vile chuma, aloi ya chuma, nk kisha kuziweka juu ya uso substrate, uvukizi mbinu mipako ni mara nyingi kutumia upinzani inapokanzwa, na kisha boriti elektroni bombardment ya nyenzo mipako, kuwafanya evaporated katika awamu ya gesi, basi amana juu ya uso substrate, kihistoria, utupu mvuke mbinu utuaji kutumika PV mapema teknolojia.

2, mipako ya kunyunyiza

Gesi hutokwa na mwangaza chini ya hali ya utupu iliyojazwa na (Ar)Kwa wakati huu ioni ya argon (Ar) atomi ndani ya ioni za nitrojeni (Ar), ioni huharakishwa kwa nguvu ya uwanja wa umeme, na kushambulia shabaha ya cathode ambayo imeundwa na nyenzo ya mipako, lengo litatawanywa nje na kuwekwa kwenye uso wa jumla, na kuwekwa kwenye uso wa nje. kupatikana kwa kutokwa kwa mwanga, ziko katika anuwai ya 10-2pa hadi 10Pa，Kwa hivyo chembe zilizotapakaa ni rahisi kugongana na molekuli za gesi kwenye chumba cha utupu wakati wa kuruka kuelekea substrate, na kufanya mwelekeo wa mwendo nasibu na filamu iliyowekwa iwe rahisi kuwa sare.

3, mipako ya ion

Chini ya hali ya utupu, Chini ya hali ya utupu, Imetumia mbinu fulani ya ionization ya plasma ili kutenganisha atomi za nyenzo za mipako katika ioni. Wakati huo huo atomi nyingi za nishati zisizo na nishati nyingi huzalishwa, ambazo zina upendeleo hasi kwenye substrate.