Theвакуумско премазивањеМашински процес је подељен на: вакуумско испаравање, вакуумско распршивање и вакуумско јонско премазивање.
1, Премаз вакуумским испаравањем
Под вакуумом, материјал се испарава, као што је метал, метална легура итд., а затим се наноси на површину подлоге. Метода испаравања често користи отпорно загревање, а затим бомбардовање материјала премаза електронским снопом, што га претвара у гасну фазу, а затим се наноси на површину подлоге. Историјски гледано, вакуумско наношење паре је ранија технологија која се користи у PVD методи.
2, распршивање премаза
Гас се подвргава сијајућем пражњењу у вакууму испуњеном (Ar). У овом тренутку атоми аргона (Ar) се претварају у јоне азота (Ar). Јони се убрзавају силом електричног поља и бомбардују катодну мету која је направљена од материјала премаза. Мета ће бити распршена и таложена на површини подлоге. Упадни јони у распршеном премазу, генерално добијеном сијајућим пражњењем, су у опсегу од 10⁻² Па до 10 Па. Тако да се распршене честице лако сударају са молекулима гаса у вакуумској комори када лете ка подлози, што чини смер кретања случајним, а наталожени филм лако уједначеним.
3, Јонски премаз
Под вакуумским условима, коришћена је одређена техника плазма јонизације да би се атоми материјала премаза делимично јонизовали у јоне. Истовремено се производе многи неутрални атоми високе енергије, који су негативно поларизовани на подлози. На овај начин, јони се таложе на површини подлоге под дубоком негативном поларношћу и формирају танак филм.
Време објаве: 23. март 2023.