Thevakuumsko nanašanjeStrojni postopek je razdeljen na: vakuumsko izhlapevanje, vakuumsko naprševanje in vakuumsko ionsko nanašanje.
1, Premaz z vakuumskim izhlapevanjem
V vakuumskih pogojih material, kot so kovine, kovinske zlitine itd., izhlapimo, nato pa ga nanesemo na površino substrata. Metoda izhlapevanja pogosto uporablja uporovno segrevanje in nato bombardiranje z elektronskim žarkom materiala prevleke, da ga izhlapimo v plinsko fazo in nato nanesemo na površino substrata. V preteklosti je bilo vakuumsko nanašanje s paro prej uporabljena tehnologija pri metodi PVD.
2. Nanos z brizganjem
Plin je podvržen žarilnemu praznjenju v vakuumu, napolnjenem z (Ar). V tem trenutku se atomi argona (Ar) pretvorijo v dušikove ione (Ar). Ioni se zaradi sile električnega polja pospešijo in bombardirajo katodno tarčo, ki je izdelana iz premaznega materiala. Tarča se razprši in odloži na površino substrata. Vpadni ioni v razpršilnem premazu, ki se običajno dobi s žarilnim praznjenjem, so v območju od 10⁻² Pa do 10 Pa. Zato razpršeni delci zlahka trčijo v molekule plina v vakuumski komori, ko letijo proti substratu, zaradi česar je smer gibanja naključna in odloženi film je enostavno enakomeren.
3. Ionski premaz
V vakuumskih pogojih se z določeno tehniko ionizacije s plazmo delno ionizirajo atomi premaznega materiala v ione. Hkrati se proizvede veliko visokoenergijskih nevtralnih atomov, ki so negativno napeti na substratu. Na ta način se ioni odlagajo na površino substrata pod močno negativno napetostjo in tvorijo tanek film.
Čas objave: 23. marec 2023