ويڪيوم ڪوٽنگ مشين جا عمل ڪهڙا آهن؟ ڪم ڪندڙ اصول ڇا آهي؟

جيويڪيوم ڪوٽنگمشين جي عمل ۾ ورهايل آهي: ويڪيوم وانپيوريٽنگ ڪوٽنگ، ويڪيوم اسپٽرنگ ڪوٽنگ ۽ ويڪيوم آئن ڪوٽنگ.

1، ويڪيوم وانپيپيشن ڪوٽنگ

ويڪيوم حالت ۾، مواد کي بخارات بڻايو وڃي، جهڙوڪ ڌاتو، ڌاتو مصر، وغيره، پوءِ انهن کي سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي جمع ڪيو وڃي، بخارات ڪوٽنگ جو طريقو اڪثر مزاحمتي حرارتي استعمال ڪيو ويندو آهي، ۽ پوءِ ڪوٽنگ مواد تي اليڪٽران بيم بمباري ڪئي ويندي آهي، انهن کي گئس جي مرحلي ۾ بخارات بڻايو ويندو آهي، پوءِ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي جمع ڪيو ويندو آهي، تاريخي طور تي، ويڪيوم وانپ جمع ڪرڻ پي وي ڊي طريقي ۾ استعمال ٿيندڙ اڳوڻي ٽيڪنالاجي آهي.

2، ڦڦڙ ڪوٽنگ

گئس (Ar) سان ڀريل ويڪيوم حالتن هيٺ چمڪ خارج ٿيڻ جي تابع آهي. هن وقت آرگن (Ar) ايٽم آئن نائٽروجن آئن (Ar) ۾ داخل ٿين ٿا، آئن برقي ميدان جي قوت سان تيز ٿين ٿا، ۽ ڪيٿوڊ ٽارگيٽ تي بمباري ڪن ٿا جيڪو ڪوٽنگ مواد مان ٺهيل آهي، ٽارگيٽ کي ٻاهر ڪڍيو ويندو ۽ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي جمع ڪيو ويندو. اسپٽر ڪوٽنگ ۾ واقع آئن، عام طور تي گلو ڊسچارج ذريعي حاصل ڪيا ويندا آهن، 10-2pa کان 10Pa جي حد ۾ هوندا آهن، تنهن ڪري ڦاٽل ذرڙا سبسٽريٽ ڏانهن اڏامڻ وقت ويڪيوم چيمبر ۾ گئس جي ماليڪيولن سان ٽڪرائڻ ۾ آسان هوندا آهن، حرڪت جي هدايت کي بي ترتيب بڻائيندا آهن ۽ جمع ٿيل فلم کي هڪجهڙائي ڪرڻ آسان بڻائيندا آهن.

3، آئن ڪوٽنگ

ويڪيوم حالتن ۾، ويڪيوم حالتن ۾، ڪوٽنگ مواد جي ايٽمن کي جزوي طور تي آئنائيز ڪرڻ لاءِ هڪ خاص پلازما آئنائيزيشن ٽيڪنڪ استعمال ڪئي وئي. ساڳئي وقت ڪيترائي اعليٰ توانائي وارا غير جانبدار ايٽم پيدا ٿين ٿا، جيڪي سبسٽريٽ تي منفي طور تي متعصب هوندا آهن. هن طريقي سان، آئن هڪ ٿلهي فلم ٺاهڻ لاءِ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي هڪ گہرے منفي تعصب هيٺ جمع ڪيا ويندا آهن.