د ویکیوم کوټینګ ماشین پروسې څه دي؟ د کار اصل څه دی؟

دد خلا پوښښد ماشین پروسه په لاندې برخو ویشل شوې ده: د ویکیوم تبخیر کوټینګ، د ویکیوم سپټرینګ کوټینګ او د ویکیوم آئن کوټینګ.

۱، د خلا تبخیر کوټینګ

د خلا په حالت کې، مواد تبخیر کړئ، لکه فلز، فلزي الیاژ، او نور. بیا یې د سبسټریټ سطحې ته واچوئ، د تبخیر کوټینګ طریقه ډیری وختونه د مقاومت تودوخې څخه کار اخلي، او بیا د کوټینګ موادو د الکترون بیم بمباري، دوی د ګاز مرحلې ته تبخیر کوي، بیا د سبسټریټ سطحې ته جمع کوي، په تاریخي توګه، د ویکیوم بخار زیرمه کول د PVD میتود کې کارول شوې پخوانۍ ټیکنالوژي ده.

۲، د سپرې کولو پوښ

ګاز د (Ar) ډک شوي خلا شرایطو لاندې د چمک خارجیدو سره مخ کیږي. پدې شیبه کې د ارګون (Ar) اتومونه د نایتروجن آیونونو (Ar) ته بدلیږي. آیونونه د بریښنایی ساحې د ځواک لخوا ګړندي کیږي، او د کیتوډ هدف بمبار کوي چې د کوټینګ موادو څخه جوړ شوی. هدف به توی شي او د سبسټریټ سطحې ته زیرمه شي. د سپټر کوټینګ کې د پیښې آیونونه، چې عموما د ګلو خارجیدو لخوا ترلاسه کیږي، د 10-2pa څخه تر 10Pa پورې وي. نو سپټر شوي ذرات د سبسټریټ په لور د الوتنې پرمهال د خلا چیمبر کې د ګاز مالیکولونو سره ټکر کول اسانه دي، د حرکت سمت تصادفي کوي او زیرمه شوی فلم یوشان کول اسانه کوي.

۳، د ایون پوښښ

د خلا شرایطو لاندې، د خلا شرایطو لاندې، د پلازما ایونیزیشن یو ځانګړی تخنیک کارول شوی ترڅو د پوښښ موادو اتومونه په جزوي ډول په ایونونو بدل کړي. په ورته وخت کې ډیری لوړ انرژي لرونکي غیر جانبدار اتومونه تولید کیږي، کوم چې په منفي ډول په سبسټریټ باندې متعصب دي. پدې توګه، ایونونه د ژور منفي تعصب لاندې د سبسټریټ سطح باندې زیرمه کیږي ترڅو یو پتلی فلم جوړ کړي.