ਦਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗਮਸ਼ੀਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਇਹਨਾਂ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਗਿਆ ਹੈ: ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕੋਟਿੰਗ, ਵੈਕਿਊਮ ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ।
1, ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਪਰਤ
ਵੈਕਿਊਮ ਸਥਿਤੀ ਵਿੱਚ, ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕਰੋ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਧਾਤ, ਧਾਤ ਦਾ ਮਿਸ਼ਰਤ ਧਾਤ, ਆਦਿ, ਫਿਰ ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰੋ, ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿਧੀ ਅਕਸਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਹੀਟਿੰਗ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ 'ਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਬੀਮ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਕੇ, ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਗੈਸ ਪੜਾਅ ਵਿੱਚ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕਰੋ, ਫਿਰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰੋ, ਇਤਿਹਾਸਕ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਸ਼ਪ ਜਮ੍ਹਾ ਪੀਵੀਡੀ ਵਿਧੀ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਪੁਰਾਣੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਹੈ।
2, ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ
ਗੈਸ (Ar)-ਭਰੀ ਵੈਕਿਊਮ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੇ ਅਧੀਨ ਇੱਕ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੇ ਅਧੀਨ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਸਮੇਂ ਆਰਗਨ (Ar) ਪਰਮਾਣੂ ਆਇਨ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਆਇਨਾਂ (Ar) ਵਿੱਚ ਬਦਲ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਆਇਨ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੇ ਬਲ ਦੁਆਰਾ ਤੇਜ਼ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਕੈਥੋਡ ਟਾਰਗੇਟ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ ਜੋ ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਤੋਂ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਟਾਰਗੇਟ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢਿਆ ਜਾਵੇਗਾ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤਾ ਜਾਵੇਗਾ। ਸਪਟਰ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਘਟਨਾ ਆਇਨ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, 10-2pa ਤੋਂ 10Pa ਦੀ ਰੇਂਜ ਵਿੱਚ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਲਈ ਸਪਟਰ ਕੀਤੇ ਕਣ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੱਲ ਉੱਡਦੇ ਸਮੇਂ ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਗੈਸ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਨਾਲ ਟਕਰਾਉਣਾ ਆਸਾਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਗਤੀ ਦੀ ਦਿਸ਼ਾ ਬੇਤਰਤੀਬ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਫਿਲਮ ਨੂੰ ਇਕਸਾਰ ਹੋਣਾ ਆਸਾਨ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
3, ਆਇਨ ਪਰਤ
ਵੈਕਿਊਮ ਹਾਲਤਾਂ ਵਿੱਚ, ਵੈਕਿਊਮ ਸਥਿਤੀ ਵਿੱਚ, ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨੂੰ ਅੰਸ਼ਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਇੱਕ ਖਾਸ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਤਕਨੀਕ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਗਈ। ਉਸੇ ਸਮੇਂ ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਨਿਰਪੱਖ ਪਰਮਾਣੂ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪੱਖਪਾਤੀ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ, ਆਇਨਾਂ ਨੂੰ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇੱਕ ਡੂੰਘੇ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਪੱਖਪਾਤ ਦੇ ਅਧੀਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਮਾਰਚ-23-2023