ଦିଶୂନ୍ୟ ଆବରଣମେସିନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ଏହି ଦୁଇ ଭାଗରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇଛି: ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଆବରଣ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ଏବଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆୟନ୍ ଆବରଣ।
୧,ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଆବରଣ
ଶୂନ୍ୟ ଅବସ୍ଥାରେ, ଧାତୁ, ଧାତୁ ମିଶ୍ରଧାତୁ, ଇତ୍ୟାଦି ସାମଗ୍ରୀକୁ ବାଷ୍ପୀଭୂତ କରନ୍ତୁ, ତା'ପରେ ସେଗୁଡ଼ିକୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା କରନ୍ତୁ, ବାଷ୍ପୀଭବନ ଆବରଣ ପଦ୍ଧତି ପ୍ରାୟତଃ ପ୍ରତିରୋଧୀ ଗରମ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ଏବଂ ତା'ପରେ ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ବିମ୍ ବୋମା ମାଡ଼ କରି, ସେଗୁଡ଼ିକୁ ଗ୍ୟାସ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ବାଷ୍ପୀଭୂତ କରନ୍ତୁ, ତା'ପରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା କରନ୍ତୁ, ଐତିହାସିକ ଭାବରେ, ଶୂନ୍ୟ ବାଷ୍ପ ଜମା ହେଉଛି PVD ପଦ୍ଧତିରେ ବ୍ୟବହୃତ ପୂର୍ବ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା।
2, ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ
(Ar)-ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଅବସ୍ଥାରେ ଗ୍ୟାସଟି ଏକ ଚମକ ନିର୍ଗତିର ଶିକାର ହୁଏ। ଏହି ମୁହୂର୍ତ୍ତରେ ଆର୍ଗନ୍ (Ar) ପରମାଣୁ ଆୟନ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଆୟନ (Ar) ରେ ପରିଣତ ହୁଏ। ବୈଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର ବଳ ଦ୍ୱାରା ଆୟନଗୁଡ଼ିକ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହୁଏ। ଏବଂ ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀରୁ ତିଆରି କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଉପରେ ବୋମା ମାଡ଼ କରେ। ଟାର୍ଗେଟ୍ ଛିଟିକି ପଡ଼ି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା ହେବ। ସ୍ପଟର୍ ଆବରଣରେ ଥିବା ଘଟଣା ଆୟନଗୁଡ଼ିକ, ସାଧାରଣତଃ ଗ୍ଲୋ ଡିସର୍ଚ୍ଚ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରାପ୍ତ, 10-2pa ରୁ 10Pa ମଧ୍ୟରେ ଥାଏ। ତେଣୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଆଡକୁ ଉଡ଼ିବା ସମୟରେ ସ୍ପଟର୍ ହୋଇଥିବା କଣିକାଗୁଡ଼ିକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ଥିବା ଗ୍ୟାସ୍ ଅଣୁ ସହିତ ଧକ୍କା ହେବା ସହଜ ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଗତି ଦିଗକୁ ଅନିୟମିତ କରିଥାଏ ଏବଂ ଜମା ହୋଇଥିବା ଫିଲ୍ମକୁ ସମାନ କରିବା ସହଜ କରିଥାଏ।
3,ଆୟନ ଆବରଣ
ଶୂନ୍ୟ ଅବସ୍ଥାରେ, ଶୂନ୍ୟ ଅବସ୍ଥାରେ, ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକୁ ଆଂଶିକ ଭାବରେ ଆୟନୀକରଣ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଆୟନାଇଜେସନ କୌଶଳ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇଥିଲା। ସେହି ସମୟରେ ଅନେକ ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ନିରପେକ୍ଷ ପରମାଣୁ ଉତ୍ପାଦିତ ହୁଏ, ଯାହା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ନକାରାତ୍ମକ ଭାବରେ ପକ୍ଷପାତିତ ହୋଇଥାଏ। ଏହିପରି, ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଗଠନ କରିବା ପାଇଁ ଆୟନଗୁଡ଼ିକୁ ଏକ ଗଭୀର ନକାରାତ୍ମକ ପକ୍ଷପାତିତ ଭାବରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା କରାଯାଏ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମାର୍ଚ୍ଚ-୨୩-୨୦୨୩