1. ဗုံးကြဲခြင်း သန့်ရှင်းရေး အလွှာ
1.1) Sputtering coating machine သည် glow discharge ကိုသုံး၍ substrate ကို သန့်ရှင်းရေးလုပ်ပါ။ ဆိုလိုသည်မှာ အာဂွန်ဓာတ်ငွေ့ကို အခန်းထဲသို့ အားသွင်းပါ၊ လျှပ်စီးဗို့အားမှာ 1000V ဝန်းကျင်ဖြစ်သည်၊ ပါဝါကိုဖွင့်ပြီးနောက်တွင်၊ တောက်ပသောအထွက်နှုန်းကို ထုတ်ပေးပြီး အောက်စထရိတ်အား အာဂွန်အိုင်းယွန်းဗုံးဖြင့် သန့်စင်ပေးပါသည်။
1.2) အဆင့်မြင့် အဆင်တန်ဆာများ ထုတ်လုပ်သည့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံး sputtering coating စက်များတွင်၊ သေးငယ်သော arc အရင်းအမြစ်များမှ ထုတ်လွှတ်သော တိုက်တေနီယမ် အိုင်းယွန်းများကို သန့်ရှင်းရေးအတွက် အများစု အသုံးပြုကြသည်။ sputtering coating စက်တွင် သေးငယ်သော arc ရင်းမြစ်တစ်ခု တပ်ဆင်ထားပြီး၊ သေးငယ်သော arc ရင်းမြစ် discharge မှ ထုတ်ပေးသော titanium ion stream ကို substrate ကို ဗုံးကြဲပြီး သန့်စင်ရန်အတွက် အသုံးပြုပါသည်။
2. တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိတ်အပေါ်ယံပိုင်း
တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိတ် ပါးလွှာသော ရုပ်ရှင်များကို အပ်နှံသည့်အခါ၊ sputtering အတွက် ပစ်မှတ်မှာ တိုက်တေနီယမ် ပစ်မှတ် ဖြစ်သည်။ ပစ်မှတ်ပစ္စည်းကို sputtering power supply ၏အနုတ်လျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့်ချိတ်ဆက်ထားပြီး ပစ်မှတ်ဗို့အား 400 ~ 500V; အာဂွန်အတက်အကျကို ပြုပြင်ထားပြီး ထိန်းချုပ်မှု လေဟာနယ်မှာ (3~8) x10 ဖြစ်သည်။-1PA အလွှာသည် ဗို့အား 100~200V ဖြင့် ဘက်လိုက်ပါဝါထောက်ပံ့မှု၏ အနုတ်လျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် ချိတ်ဆက်ထားသည်။
sputtering titanium ပစ်မှတ်၏ ပါဝါထောက်ပံ့မှုကို ဖွင့်ပြီးနောက်၊ တောက်ပသော စွန့်ထုတ်မှုကို ထုတ်ပေးပြီး စွမ်းအင်မြင့် အာဂွန်အိုင်းယွန်းများသည် sputtering ပစ်မှတ်အား ဗုံးကြဲကာ ပစ်မှတ်မှ တိုက်တေနီယမ် အက်တမ်များကို ပက်ထုတ်သည်။
ဓါတ်ငွေ့နိုက်ထရိုဂျင်ကို မိတ်ဆက်ပေးပြီး တိုက်တေနီယမ်အက်တမ်နှင့် နိုက်ထရိုဂျင်ကို အပေါ်ယံခန်းရှိ တိုက်တေနီယမ်အိုင်းယွန်းနှင့် နိုက်ထရိုဂျင်အိုင်းယွန်းအဖြစ်သို့ အိုင်ယွန်းစေသည်။ အနုတ်လက္ခဏာဘက်လိုက်လျှပ်စစ်စက်ကွင်း၏ ဆွဲဆောင်မှုအောက်တွင်၊ တိုက်တေနီယမ်အိုင်းယွန်းနှင့် နိုက်ထရိုဂျင်အိုင်းယွန်းများသည် ဓာတုတုံ့ပြန်မှုနှင့် အစစ်ခံရန်အတွက် တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိတ်ဖလင်အလွှာတစ်ခုအဖြစ် အလွှာ၏မျက်နှာပြင်သို့ အရှိန်မြှင့်သွားပါသည်။
3. အလွှာကိုထုတ်ပါ။
ကြိုတင်သတ်မှတ်ထားသော ဖလင်အထူသို့ရောက်ရှိပြီးနောက်၊ sputtering power supply၊ substrate bias power supply နှင့် air source ကိုပိတ်ပါ။ အလွှာ၏အပူချိန် 120 ℃ထက်နိမ့်ပြီးနောက်၊ အပေါ်ယံအခန်းကိုလေနှင့်ဖြည့်ပြီးအလွှာကိုထုတ်ပါ။
ဤဆောင်းပါးကိုထုတ်ဝေသည်။magnetron sputtering coating စက်ထုတ်လုပ်သူ- Guangdong Zhenhua။
ပို့စ်အချိန်- ဧပြီလ 07-2023