1. ຊັ້ນຮອງພື້ນທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍລະເບີດ
1.1) ເຄື່ອງເຄືອບສະເປເຕີຣິງໃຊ້ການປ່ອຍແສງເພື່ອເຮັດຄວາມສະອາດຊັ້ນຮອງພື້ນ. ນັ້ນກໍຄື, ສາກອາຍແກັສອາກອນເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງ, ແຮງດັນປ່ອຍແສງປະມານ 1000V, ຫຼັງຈາກເປີດແຫຼ່ງຈ່າຍໄຟ, ການປ່ອຍແສງຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນ, ແລະຊັ້ນຮອງພື້ນຈະຖືກເຮັດຄວາມສະອາດໂດຍການຖິ້ມໄອອອນອາກອນ.
1.2) ໃນເຄື່ອງຈັກເຄືອບສະເປຣເຕີຣິງທີ່ຜະລິດເຄື່ອງປະດັບລະດັບສູງໃນອຸດສາຫະກຳ, ໄອອອນໄທທານຽມທີ່ປ່ອຍອອກມາຈາກແຫຼ່ງໄຟຟ້າຂະໜາດນ້ອຍສ່ວນຫຼາຍແມ່ນໃຊ້ສຳລັບການທຳຄວາມສະອາດ. ເຄື່ອງເຄືອບສະເປຣເຕີຣິງມີແຫຼ່ງໄຟຟ້າຂະໜາດນ້ອຍ, ແລະກະແສໄອອອນໄທທານຽມໃນປລາສມາໄຟຟ້າທີ່ຜະລິດໂດຍແຫຼ່ງໄຟຟ້າຂະໜາດນ້ອຍແມ່ນໃຊ້ເພື່ອລະເບີດ ແລະ ທຳຄວາມສະອາດຊັ້ນຮອງພື້ນ.
2. ເຄືອບໄນເຕນຽມໄນໄຕຣດ
ເມື່ອວາງຟິມບາງ titanium nitride, ວັດສະດຸເປົ້າໝາຍສຳລັບການສະເປຣດເຕີແມ່ນເປົ້າໝາຍ titanium. ວັດສະດຸເປົ້າໝາຍແມ່ນເຊື່ອມຕໍ່ກັບຂົ້ວລົບຂອງແຫຼ່ງພະລັງງານສະເປຣດເຕີ, ແລະແຮງດັນເປົ້າໝາຍແມ່ນ 400~500V; ກະແສອາກອນແມ່ນຄົງທີ່, ແລະສູນຍາກາດຄວບຄຸມແມ່ນ (3~8) x10-1PA. ວັດສະດຸຮອງພື້ນຖືກເຊື່ອມຕໍ່ກັບຂົ້ວລົບຂອງແຫຼ່ງຈ່າຍໄຟໄບອັດ, ດ້ວຍແຮງດັນໄຟຟ້າ 100~200V.
ຫຼັງຈາກເປີດແຫຼ່ງຈ່າຍໄຟຂອງເປົ້າໝາຍ titanium ທີ່ກຳລັງສະເປຣດເຕີ, ການປ່ອຍແສງຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນ, ແລະໄອອອນອາກອນພະລັງງານສູງຈະຍິງໃສ່ເປົ້າໝາຍທີ່ກຳລັງສະເປຣດເຕີ, ເຮັດໃຫ້ອະຕອມ titanium ອອກຈາກເປົ້າໝາຍ.
ໄນໂຕຣເຈນອາຍແກັສປະຕິກິລິຍາຖືກນຳເຂົ້າ, ແລະ ອະຕອມໄທທານຽມ ແລະ ໄນໂຕຣເຈນຈະຖືກໄອອອນເຂົ້າໄປໃນໄອອອນໄທທານຽມ ແລະ ໄອອອນໄນໂຕຣເຈນໃນຫ້ອງເຄືອບ. ພາຍໃຕ້ແຮງດຶງດູດຂອງສະໜາມໄຟຟ້າທີ່ມີອະຄະຕິທາງລົບທີ່ໃຊ້ກັບຊັ້ນຮອງພື້ນ, ໄອອອນໄທທານຽມ ແລະ ໄອອອນໄນໂຕຣເຈນຈະເລັ່ງຂຶ້ນສູ່ໜ້າດິນຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນເພື່ອປະຕິກິລິຍາເຄມີ ແລະ ການຕົກຕະກອນເພື່ອສ້າງຊັ້ນຟິມໄທທານຽມໄນໄຕຣດ.
3. ເອົາວັດສະດຸຮອງພື້ນອອກ
ຫຼັງຈາກຮອດຄວາມໜາຂອງຟິມທີ່ກຳນົດໄວ້ແລ້ວ, ໃຫ້ປິດແຫຼ່ງຈ່າຍໄຟສະເປຣດເຕີ, ແຫຼ່ງຈ່າຍໄຟອະຄະຕິຂອງຊັ້ນວາງ, ແລະແຫຼ່ງອາກາດ. ຫຼັງຈາກອຸນຫະພູມຊັ້ນວາງຕ່ຳກວ່າ 120 ℃, ໃຫ້ຕື່ມອາກາດໃສ່ຫ້ອງເຄືອບ ແລະເອົາຊັ້ນວາງອອກ.
ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບ magnetron sputtering— Guangdong Zhenhua.
ເວລາໂພສ: ເມສາ-07-2023