Przebieg procesu maszyny do powlekania napylaniem

1. Bombardowanie podłoża czyszczącego

1.1) Maszyna do powlekania rozpylającego używa wyładowania jarzeniowego do czyszczenia podłoża.Oznacza to, że naładuj argon do komory, napięcie rozładowania wynosi około 1000 V. Po włączeniu zasilania generowane jest wyładowanie jarzeniowe, a podłoże jest czyszczone przez bombardowanie jonami argonu.

1.2) W maszynach do powlekania przez napylanie katodowe, które przemysłowo wytwarzają wysokiej jakości ozdoby, jony tytanu emitowane przez małe źródła łukowe są najczęściej używane do czyszczenia.Maszyna do powlekania przez napylanie jest wyposażona w małe źródło łuku, a strumień jonów tytanu w plazmie łukowej generowany przez wyładowanie z małego źródła łuku służy do bombardowania i czyszczenia podłoża.

2. Powłoka z azotku tytanu

Podczas osadzania cienkich warstw azotku tytanu docelowym materiałem do napylania katodowego jest tytan.Materiał docelowy jest podłączony do elektrody ujemnej zasilacza rozpylającego, a napięcie docelowe wynosi 400 ~ 500 V;Strumień argonu jest stały, a próżnia kontrolna wynosi (3~8) x10^-1ROCZNIE.Podłoże jest podłączone do elektrody ujemnej zasilacza polaryzacyjnego o napięciu 100~200V.

Po włączeniu zasilania napylającego celu tytanowego generowane jest wyładowanie jarzeniowe, a wysokoenergetyczne jony argonu bombardują napylany cel, rozpylając atomy tytanu z celu.

Wprowadza się azot w postaci gazu reakcyjnego, a atomy tytanu i azot są jonizowane do jonów tytanu i jonów azotu w komorze do powlekania.Pod wpływem przyciągania ujemnego pola elektrycznego przyłożonego do podłoża, jony tytanu i jony azotu przyspieszają do powierzchni podłoża w celu przeprowadzenia reakcji chemicznej i osadzania, tworząc warstwę azotku tytanu.

3. Wyjmij podłoże

Po osiągnięciu określonej grubości warstwy wyłącz zasilanie rozpylania, zasilanie polaryzacji podłoża i źródło powietrza.Gdy temperatura podłoża spadnie poniżej 120 ℃, napełnij komorę powlekania powietrzem i wyjmij podłoże.

Ten artykuł został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania magnetronowego– Guangdong Zhenhua.