Ҷараёни Раванди Sputtering Мошин молидани

1. Субстрати тозакунии бомбаборон

1.1) Мошини пошидани пошидани разряди дурахширо барои тоза кардани субстрат истифода мебарад.Яъне, гази аргонро ба камера пур кунед, шиддати разряд тақрибан 1000 В аст, Пас аз фурӯзон кардани манбаи барқ, разряди дурахшанда ба вуҷуд меояд ва субстрат тавассути бомбаборони ионҳои аргон тоза карда мешавад.

1.2) Дар мошинҳои пошидани пӯшиш, ки ба таври саноатӣ ороишоти олӣ истеҳсол мекунанд, ионҳои титан, ки аз манбаъҳои камон хурд мебароянд, бештар барои тозакунӣ истифода мешаванд.Мошини пӯшиши пошидан бо манбаи хурди камон муҷаҳҳаз аст ва ҷараёни ионҳои титан дар плазмаи камон, ки аз партови хурди камон тавлид мешавад, барои бомбаборон кардан ва тоза кардани субстрат истифода мешавад.

2. Сарпӯши нитриди титан

Ҳангоми гузоштани филмҳои тунуки нитриди титан, маводи мавриди ҳадаф барои пошидан ҳадафи титан мебошад.Маводи мақсаднок ба электроди манфии таъминоти барқ ​​​​пайваст карда мешавад ва шиддати ҳадаф 400 ~ 500V аст;Ҷараёни аргон собит аст ва вакууми идоракунӣ (3~8) x10 аст^-1ПА.Субстрат ба электроди манфии қувваи барқ ​​​​бо шиддати 100 ~ 200 В пайваст карда шудааст.

Пас аз ба кор даровардани таъминоти барқи ҳадафи титани пошхӯрда, разряди дурахшанда ба вуҷуд меояд ва ионҳои аргон-энергияи баланд ҳадафи пошидаро бомбаборон карда, атомҳои титанро аз ҳадаф мепошанд.

Нитроген гази реаксия ворид карда мешавад ва атомҳои титан ва нитроген дар камераи пӯшиш ба ионҳои титан ва ионҳои нитроген ионизатсия мешаванд.Дар зери ҷалби майдони электрикии ғаразноки манфие, ки ба субстрат истифода мешавад, ионҳои титан ва ионҳои нитроген ба сатҳи субстрат барои реаксияи химиявӣ ва таҳшин кардани қабати нитриди титанӣ суръат мебахшанд.

3. Заминро берун кунед

Пас аз расидан ба ғафсии филми қаблан муайяншуда, таъминоти барқи пошхӯрӣ, таъминоти барқи субстрат ва манбаи ҳаворо хомӯш кунед.Пас аз паст шудани ҳарорати субстрат аз 120 ℃, камераи рӯйпӯшро бо ҳаво пур кунед ва субстратро берун кунед.

Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастmagnetron sputtering молидани истеҳсолкунандаи мошини- Гуандун Чжэнхуа.