Ҷараёни раванди мошини рӯйпӯшкунии пошидани дорупошӣ

1. Субстрати тозакунии бомбабордмент

1.1) Мошини рӯйпӯшкунии пошидани об барои тоза кардани субстрат аз разряди дурахшон истифода мебарад. Яъне, гази аргонро ба камера пур кунед, шиддати разряди об тақрибан 1000В аст. Пас аз фаъол кардани манбаи барқ, разряди дурахшон ба вуҷуд меояд ва субстрат бо бомбаборони иони аргон тоза карда мешавад.

1.2) Дар мошинҳои пӯшонидани пошидани пошидани босифат, ки ба таври саноатӣ ороишоти баландсифат истеҳсол мекунанд, ионҳои титан, ки аз манбаъҳои хурди камон хориҷ мешаванд, асосан барои тозакунӣ истифода мешаванд. Мошини пӯшонидани пошидани пошидани бо манбаи хурди камон муҷаҳҳаз шудааст ва ҷараёни ионҳои титан дар плазмаи камон, ки аз разряди манбаи хурди камон ба вуҷуд меояд, барои бомбаборон ва тоза кардани субстрат истифода мешавад.

2. Пӯшиши нитриди титан

Ҳангоми гузоштани плёнкаҳои тунуки нитриди титан, маводи мақсаднок барои пошидани титан ҳадаф аст. Маводи мақсаднок ба электроди манфии манбаи қувваи пошидани титан пайваст карда шудааст ва шиддати мақсаднок 400 ~ 500V аст; ҷараёни аргон собит аст ва вакууми идоракунӣ (3 ~ 8) x 10 аст.^-1PA. Субстрат ба электроди манфии манбаи қувваи барқи таассубӣ бо шиддати 100~200В пайваст карда шудааст.

Пас аз фаъол кардани манбаи барқи ҳадафи титании пошидашаванда, разряди дурахшон ба вуҷуд меояд ва ионҳои аргони баландэнергия ҳадафи пошидашавандаро бомбаборон мекунанд ва атомҳои титанро аз ҳадаф пош медиҳанд.

Нитрогени реаксия ворид карда мешавад ва атомҳои титан ва нитроген дар камераи рӯйпӯш ба ионҳои титан ва ионҳои нитроген ион карда мешаванд. Дар зери ҷалби майдони электрикии манфии татбиқшаванда ба субстрат, ионҳои титан ва ионҳои нитроген ба сатҳи субстрат барои реаксияи кимиёвӣ ва таҳшиншавӣ суръат мегиранд ва қабати плёнкаи нитриди титанро ташкил медиҳанд.

3. Субстратро берун кунед

Пас аз расидан ба ғафсии муайяншудаи плёнка, манбаи қувваи пошидан, манбаи қувваи таассуби субстрат ва манбаи ҳаворо хомӯш кунед. Пас аз он ки ҳарорати субстрат аз 120°C паст шавад, камераи рӯйпӯшро бо ҳаво пур кунед ва субстратро берун кунед.

Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини рӯйпӯшкунии пошидани магнетронӣ- Гуандун Чжэнхуа.