1. Бомбардмент чистарту субстраты
1.1) Сиптерү каплау машинасы субстратны чистарту өчен ялтыравыклы разряд куллана. Ягъни, аргон газын камерага тутырыгыз, разряд көчәнеше якынча 1000 В. Электр белән тәэмин итүне кабызганнан соң, ялтыравыклы разряд барлыкка килә, һәм субстрат аргон ионы белән бомбага тоту ярдәмендә чистартыла.
1.2) Сәнәгатьтә югары сыйфатлы бизәкләр җитештерә торган сиптерү каплау машиналарында, кечкенә дуга чыганаклары чыгарган титан ионнары күбесенчә чистарту өчен кулланыла. Сиптерү каплау машинасы кечкенә дуга чыганагы белән җиһазландырылган, һәм кечкенә дуга чыганагы разрядында барлыкка килгән дуга плазмасындагы титан ион агымы нигезне бомбага тоту һәм чистарту өчен кулланыла.
2. Титан нитриды белән каплау
Титан нитриды юка пленкаларын урнаштырганда, сиптерү өчен максат материалы титан максаты. Максат материалы сиптерү электр чыганагының тискәре электродына тоташтырылган, максат көчәнеше 400 ~ 500 В; аргон агымы даими, һәм контроль вакуумы (3 ~ 8) x 10-1PA. Субстрат 100~200В көчәнеш белән көчәнешле көчәнеш белән электр белән тәэмин итү җайланмасының тискәре электродына тоташтырылган.
Сиптерүче титан нышаны электр белән тәэмин итүне кабызганнан соң, ялтыравык разряд барлыкка килә, һәм югары энергияле аргон ионнары сиптерүче нышанны бомбага тота, титан атомнарын сиптерә.
Реакция газы азот кертелә, һәм титан атомнары һәм азот каплау камерасында титан ионнарына һәм азот ионнарына ионлаштырыла. Субстратка бирелгән тискәре көчәнешле электр кыры җәлеп итүе астында, титан ионнары һәм азот ионнары субстрат өслегенә тизләнеп, химик реакция һәм утырма өчен титан нитриды пленка катламын барлыкка китерә.
3. Субстратны алыгыз
Билгеләнгән пленка калынлыгына җиткәч, сиптерү электр чыганагын, субстратның көчәнеш электр чыганагын һәм һава чыганагын сүндерегез. Субстрат температурасы 120 ℃ тан түбән төшкәч, каплау камерасын һава белән тутырыгыз һәм субстратны алыгыз.
Бу мәкалә бастырып чыгарылганмагнетрон сиптерү каплау машинасы җитештерүчесе- Гуандун Чжэнхуа.
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 7 апреле