1. Підкладка для очищення бомбардування
1.1) Машина для напилення покриття використовує тліючий розряд для очищення основи.Тобто, зарядіть газ аргон у камеру, напруга розряду становить близько 1000 В. Після ввімкнення джерела живлення генерується тліючий розряд, і підкладка очищається бомбардуванням іонами аргону.
1.2) У машинах для напилення покриттів, які промислово виготовляють висококласні прикраси, іони титану, що випромінюються невеликими джерелами дуги, переважно використовуються для очищення.Машина для напилення покриттів оснащена малим дуговим джерелом, і потік іонів титану в дуговій плазмі, що генерується розрядом малого дугового джерела, використовується для бомбардування та очищення підкладки.
2. Покриття з нітриду титану
При осадженні тонких плівок нітриду титану матеріалом мішені для напилення є титанова мішень.Матеріал мішені підключено до негативного електрода джерела живлення розпилення, а напруга мішені становить 400 ~ 500 В;Потік аргону фіксований, а контрольний вакуум становить (3~8) x10-1PA.Підкладка підключена до негативного електрода джерела живлення зміщення з напругою 100~200В.
Після ввімкнення джерела живлення титанової мішені, що розпилюється, генерується тліючий розряд, і високоенергетичні іони аргону бомбардують мішень, що розпилюється, розпилюючи атоми титану з мішені.
Вводиться реакційний газ азот, і атоми титану та азот іонізуються в іони титану та іони азоту в камері для покриття.Під дією електричного поля негативного зміщення, прикладеного до підкладки, іони титану та іони азоту прискорюються до поверхні підкладки для хімічної реакції та осадження з утворенням шару плівки нітриду титану.
3. Вийміть підкладку
Після досягнення заданої товщини плівки вимкніть джерело живлення розпилення, джерело живлення зміщення підкладки та джерело повітря.Коли температура підкладки стане нижчою за 120 ℃, заповніть камеру для покриття повітрям і вийміть підкладку.
Ця стаття опублікованаВиробник машини для нанесення покриттів магнетронним напиленням– Гуандун Чженьхуа.
Час публікації: 07 квітня 2023 р