Mtiririko wa Mchakato wa Mashine ya Kupaka Matone

1. Sehemu ya chini ya kusafisha mabomu

1.1) Mashine ya kunyunyizia hutumia mchoro wa mwanga kusafisha sehemu ya chini. Hiyo ni kusema, kuchaji gesi ya argon ndani ya chumba, volteji ya kutokwa ni karibu 1000V, Baada ya kuwasha usambazaji wa umeme, mchoro wa mwanga huzalishwa, na sehemu ya chini husafishwa kwa kupigwa kwa ioni ya argon.

1.2) Katika mashine za mipako ya kunyunyizia maji zinazozalisha mapambo ya hali ya juu viwandani, ioni za titani zinazotolewa na vyanzo vidogo vya arc hutumika zaidi kwa ajili ya kusafisha. Mashine ya mipako ya kunyunyizia maji ina chanzo kidogo cha arc, na mkondo wa ioni za titani katika plasma ya arc inayozalishwa na kutokwa kwa chanzo kidogo cha arc hutumika kushambulia na kusafisha substrate.

2. Mipako ya nitridi ya titani

Wakati wa kuweka filamu nyembamba za nitridi ya titani, nyenzo inayolengwa kwa ajili ya kunyunyizia ni shabaha ya titani. Nyenzo inayolengwa imeunganishwa na elektrodi hasi ya usambazaji wa umeme wa kunyunyizia, na volteji inayolengwa ni 400~500V; Mtiririko wa argon umewekwa, na utupu wa kudhibiti ni (3~8) x10^-1PA. Sehemu ndogo imeunganishwa na elektrodi hasi ya usambazaji wa umeme wa upendeleo, yenye volteji ya 100 ~ 200V.

Baada ya kuwasha usambazaji wa umeme wa shabaha ya titani inayotoa matone, mnururisho wa mwanga huzalishwa, na ioni za argoni zenye nguvu nyingi hushambulia shabaha inayotoa matone, na kutoa atomi za titani kutoka kwa shabaha.

Nitrojeni ya gesi ya mmenyuko huletwa, na atomi za titani na nitrojeni hubadilishwa kuwa ioni za titani na ioni za nitrojeni kwenye chumba cha mipako. Chini ya mvuto wa uwanja wa umeme wa upendeleo hasi unaotumika kwenye substrate, ioni za titani na ioni za nitrojeni huharakisha hadi kwenye uso wa substrate kwa ajili ya mmenyuko wa kemikali na uwekaji wa tabaka ili kuunda safu ya filamu ya nitridi ya titani.

3. Ondoa sehemu ya chini ya ardhi

Baada ya kufikia unene uliopangwa wa filamu, zima usambazaji wa umeme unaotoa maji, usambazaji wa umeme unaopendelea substrate, na chanzo cha hewa. Baada ya halijoto ya substrate kuwa chini ya 120 ℃, jaza chumba cha mipako na hewa na utoe substrate.

Makala hii imechapishwa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya magnetron- Guangdong Zhenhua.