Püskürtme qoplama mashinasining jarayon oqimi

1. Bombardment tozalash substrati

1.1) Purkash qoplama mashinasi substratni tozalash uchun porlash zaryadidan foydalanadi. Ya'ni, argon gazini kameraga zaryadlang, zaryadlash kuchlanishi taxminan 1000V ni tashkil qiladi. Quvvat manbai yoqilgandan so'ng, porlash zaryadi hosil bo'ladi va substrat argon ionlari bilan bombardimon qilish orqali tozalanadi.

1.2) Sanoatda yuqori darajadagi bezaklar ishlab chiqaradigan purkash qoplama mashinalarida kichik yoy manbalaridan chiqadigan titan ionlari asosan tozalash uchun ishlatiladi. Purkash qoplama mashinasi kichik yoy manbai bilan jihozlangan va kichik yoy manbai zaryadsizlanishi natijasida hosil bo'lgan yoy plazmasidagi titan ion oqimi substratni bombardimon qilish va tozalash uchun ishlatiladi.

2. Titan nitrid qoplamasi

Titan nitridi yupqa plyonkalarini yotqizishda, purkash uchun maqsadli material titan nishonidir. Nishon material purkash quvvat manbaining manfiy elektrodiga ulangan va maqsadli kuchlanish 400 ~ 500V; argon oqimi sobit va boshqaruv vakuumi (3 ~ 8) x 10 dir.^-1PA. Substrat 100 ~ 200V kuchlanishli yonma-yon quvvat manbaining manfiy elektrodiga ulangan.

Purkaydigan titan nishonining quvvat manbai yoqilgandan so'ng, yorqin zaryad hosil bo'ladi va yuqori energiyali argon ionlari purkaydigan nishonni bombardimon qiladi va titan atomlarini nishondan chiqarib yuboradi.

Reaksiya gazi azot kiritiladi va titan atomlari va azot qoplama kamerasida titan ionlari va azot ionlariga ionlanadi. Substratga qo'llaniladigan salbiy elektr maydonining tortilishi ostida titan ionlari va azot ionlari kimyoviy reaksiya va cho'kma uchun substrat yuzasiga tezlashadi va titan nitridi plyonka qatlamini hosil qiladi.

3. Substratni olib tashlang

Belgilangan plyonka qalinligiga yetgandan so'ng, purkash quvvat manbaini, substratning yon tomonga yo'naltirilgan quvvat manbaini va havo manbasini o'chiring. Substrat harorati 120 ℃ dan past bo'lgandan so'ng, qoplama kamerasini havo bilan to'ldiring va substratni chiqarib oling.

Ushbu maqola nashr etilganmagnetronli purkash qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisi- Guangdong Chjenxua.