1. Bombardement cleaning substraat
1.1) Sputterende coating masine brûke gloeiûntlading om it substraat skjin te meitsjen.Dat wol sizze, laad it argongas yn 'e keamer, de ûntladingsspanning is sawat 1000V, Nei it ynskeakeljen fan 'e stroomfoarsjenning wurdt in gloeiûntlading generearre, en it substraat wurdt skjinmakke troch argon-ion-bombardemint.
1.2) Yn sputterende coating masines dy't yndustrieel produsearje hege-ein ornaments, titanium ioanen útstjoerd troch lytse bôge boarnen meast brûkt foar skjinmeitsjen.De sputterende coating masine is foarsjoen fan in lytse bôge boarne, en de titanium ion stream yn 'e bôge plasma generearre troch de lytse bôge boarne ûntlizzing wurdt brûkt om bombardearje en skjinmeitsje it substraat.
2. Titanium nitride coating
By it dellizzen fan tinne films fan titaniumnitride is it doelmateriaal foar sputterjen titaniumdoel.It doelmateriaal is ferbûn mei de negative elektrodes fan 'e sputterende voeding, en de doelspanning is 400 ~ 500V;De argonflux is fêst, en it kontrôle fakuüm is (3 ~ 8) x10-1PA.It substraat is ferbûn mei de negative elektrodes fan 'e bias-voeding, mei in spanning fan 100 ~ 200V.
Nei it ynskeakeljen fan 'e stroomfoarsjenning fan' e sputterjende titaniumdoel, wurdt in gloeiûntlading generearre, en argon-ionen mei hege enerzjy bombardearje it sputterende doel, en sputtere titaniumatomen út it doel.
It reaksjegas stikstof wurdt yntrodusearre, en de titaniumatomen en stikstof wurde ionisearre yn titaniumionen en stikstofionen yn 'e coatingkeamer.Under de attraksje fan de negative bias elektryske fjild tapast op it substraat, titanium ioanen en stikstof ioanen fersnelle nei it oerflak fan it substraat foar gemyske reaksje en deposition te foarmjen in titanium nitride film laach.
3. Nim it substraat út
Nei it berikken fan de foarbepaalde filmdikte, skeakelje de sputterende stroomfoarsjenning, substraat-bias-voeding en luchtboarne út.Nei't de substraattemperatuer leger is as 120 ℃, folje de coatingkeamer mei loft en nim it substraat út.
Dit artikel wurdt publisearre trochfabrikant fan magnetron sputtering coating masine- Guangdong Zhenhua.
Post tiid: Apr-07-2023