1. Bombardman təmizləyici substrat
1.1) Püskürtmə örtük maşını substratı təmizləmək üçün parıltı boşalmasından istifadə edir.Yəni arqon qazını kameraya doldurun,boşaltma gərginliyi 1000V civarındadır, enerji təchizatı işə salındıqdan sonra parıltı boşalması yaranır və substrat arqon ionu bombardmanı ilə təmizlənir.
1.2) Sənaye üsulu ilə yüksək keyfiyyətli bəzək əşyaları istehsal edən püskürtmə örtük maşınlarında, kiçik qövs mənbələri tərəfindən yayılan titan ionları təmizləmə üçün daha çox istifadə olunur.Püskürtmə örtmə maşını kiçik bir qövs mənbəyi ilə təchiz edilmişdir və kiçik qövs mənbəyi boşalması ilə yaranan qövs plazmasındakı titan ion axını substratı bombalamaq və təmizləmək üçün istifadə olunur.
2. Titan nitrid örtüyü
Titan nitrid nazik filmləri yerləşdirərkən, püskürtmə üçün hədəf titan hədəfidir.Hədəf material püskürən enerji təchizatının mənfi elektroduna qoşulur və hədəf gərginliyi 400 ~ 500V-dir;Arqon axını sabitdir və nəzarət vakuumu (3~8) x10 təşkil edir-1PA.Substrat 100 ~ 200 V gərginlikli enerji təchizatının mənfi elektroduna qoşulur.
Püskürən titan hədəfinin enerji təchizatı işə salındıqdan sonra parıltı boşalması əmələ gəlir və yüksək enerjili arqon ionları sıçrayan hədəfi bombalayır, titan atomlarını hədəfdən püskürür.
Reaksiya qaz azotu təqdim edilir və titan atomları və azot örtük kamerasında titan ionlarına və azot ionlarına ionlaşdırılır.Substrata tətbiq olunan mənfi meylli elektrik sahəsinin cəlb edilməsi altında titan ionları və azot ionları kimyəvi reaksiya və titan nitrid film təbəqəsi yaratmaq üçün çöküntü üçün substratın səthinə sürətlənir.
3. Substratı çıxarın
Əvvəlcədən müəyyən edilmiş plyonka qalınlığına çatdıqdan sonra püskürən enerji təchizatını, substratın enerji təchizatını və hava mənbəyini söndürün.Substratın temperaturu 120 ℃-dən aşağı olduqdan sonra örtük kamerasını hava ilə doldurun və substratı çıxarın.
Bu məqalə nəşr olunurmaqnetron püskürən örtük maşın istehsalçısı- Guangdong Zhenhua.
Göndərmə vaxtı: 07 aprel 2023-cü il