1. Bombardment təmizləyici substrat
1.1) Püskürtmə örtük maşını substratı təmizləmək üçün parıltılı boşalmadan istifadə edir. Yəni, arqon qazını kameraya doldurun, boşaltma gərginliyi təxminən 1000V-dir. Enerji təchizatını işə saldıqdan sonra parıltılı boşalma yaranır və substrat arqon ion bombardmanı ilə təmizlənir.
1.2) Sənayedə yüksək səviyyəli bəzək əşyaları istehsal edən püskürtmə örtük maşınlarında, kiçik qövs mənbələri tərəfindən yayılan titan ionları əsasən təmizləmə üçün istifadə olunur. Püskürtmə örtük maşını kiçik bir qövs mənbəyi ilə təchiz olunmuşdur və kiçik qövs mənbəyinin boşalması nəticəsində yaranan qövs plazmasındakı titan ion axını substratı bombalamaq və təmizləmək üçün istifadə olunur.
2. Titan nitrid örtüyü
Titan nitrid nazik təbəqələri çökdürüldükdə, püskürtmə üçün hədəf material titan hədəfidir. Hədəf material püskürtmə enerji mənbəyinin mənfi elektroduna qoşulur və hədəf gərginliyi 400 ~ 500V-dir; argon axını sabitdir və idarəetmə vakuumu (3 ~ 8) x 10-dur.-1PA. Substrat, 100~200V gərginliklə, qərəzli enerji təchizatının mənfi elektroduna qoşulub.
Püskürən titan hədəfinin enerji təchizatını işə saldıqdan sonra parıltılı boşalma yaranır və yüksək enerjili argon ionları püskürən hədəfi bombalayaraq titan atomlarını hədəfdən püskürdür.
Reaksiya qazı azotu daxil edilir və titan atomları və azot örtük kamerasında titan ionlarına və azot ionlarına ionlaşır. Substrata tətbiq olunan mənfi qərəzli elektrik sahəsinin cazibəsi altında titan ionları və azot ionları kimyəvi reaksiya və çökmə üçün substratın səthinə sürətlənir və titan nitrid təbəqəsi əmələ gətirir.
3. Substratı çıxarın
Əvvəlcədən müəyyən edilmiş təbəqə qalınlığına çatdıqdan sonra, püskürtmə enerji təchizatını, substrat qərəzli enerji təchizatını və hava mənbəyini söndürün. Substrat temperaturu 120 ℃-dən aşağı düşdükdən sonra örtük kamerasını hava ilə doldurun və substratı çıxarın.
Bu məqalə dərc olunubmaqnetron püskürtmə örtük maşını istehsalçısı- Guangdong Zhenhua.
Yazı vaxtı: 07 Aprel 2023