1. Бомбардирлөө тазалоочу субстрат
1.1) Чачыратуучу каптоочу машина субстратты тазалоо үчүн жаркыраган разрядды колдонот. Башкача айтканда, аргон газын камерага заряддаңыз, разряд чыңалуу 1000 В тегерегинде болот. Электр менен камсыздоону күйгүзгөндөн кийин, жаркыраган разряд пайда болот жана субстрат аргон иону менен бомбалоо менен тазаланат.
1.2) Өнөр жайда жогорку класстагы жасалгаларды чыгарган чачыратуучу каптоочу машиналарда, кичинекей жаа булактарынан бөлүнүп чыккан титан иондору көбүнчө тазалоо үчүн колдонулат. Чачыратуучу каптоочу машина кичинекей жаа булагы менен жабдылган, ал эми кичинекей жаа булагынын разрядынан пайда болгон жаа плазмасындагы титан ионунун агымы субстратты бомбалоо жана тазалоо үчүн колдонулат.
2. Титан нитриди менен каптоо
Титан нитридинин жука пленкаларын куюуда, чачыратуу үчүн максаттуу материал титандын бута болуп саналат. Максаттуу материал чачыратуу кубат булагынын терс электродуна туташтырылган жана максаттуу чыңалуу 400 ~ 500V; аргон агымы туруктуу жана башкаруу вакууму (3 ~ 8) x 10-1PA. Субстрат 100~200V чыңалуудагы бир тараптуу кубат булагынын терс электродуна туташтырылган.
Чачыратуучу титан бутасынын кубат булагы күйгүзүлгөндөн кийин, жаркыроо разряды пайда болот жана жогорку энергиялуу аргон иондору чачыратуучу бутага бомба ыргытып, титан атомдорун бутадан чачыратат.
Реакциялык газ азоту киргизилет, ал эми титан атомдору жана азот каптоо камерасында титан иондоруна жана азот иондоруна иондолот. Субстратка колдонулган терс электр талаасынын тартылуусунун астында титан иондору жана азот иондору химиялык реакция жана чөкмө үчүн субстраттын бетине ылдамданып, титан нитридинин пленка катмарын түзөт.
3. Субстратты алып салыңыз
Пленканын алдын ала аныкталган калыңдыгына жеткенден кийин, чачыраткыч кубат булагын, субстраттын ийилүүчү кубат булагын жана аба булагын өчүрүңүз. Субстраттын температурасы 120 ℃ төмөн түшкөндөн кийин, каптоо камерасын аба менен толтуруп, субстратты алып чыгыңыз.
Бул макала жарыяланганмагнетрон чачыратуучу каптоо машинасын өндүрүүчү– Гуандун Чжэнхуа.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 7-апрели