സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീന്റെ പ്രോസസ്സ് ഫ്ലോ

1. ബോംബർമെന്റ് ക്ലീനിംഗ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്

1.1) സ്‌പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് വൃത്തിയാക്കാൻ ഗ്ലോ ഡിസ്‌ചാർജ് ഉപയോഗിക്കുന്നു.അതായത്, ആർഗൺ ഗ്യാസ് ചേമ്പറിലേക്ക് ചാർജ് ചെയ്യുക, ഡിസ്ചാർജ് വോൾട്ടേജ് ഏകദേശം 1000V ആണ്, വൈദ്യുതി വിതരണം ഓണാക്കിയ ശേഷം, ഒരു ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് ജനറേറ്റുചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ ആർഗോൺ അയോൺ ബോംബർമെന്റ് ഉപയോഗിച്ച് അടിവസ്ത്രം വൃത്തിയാക്കുന്നു.

1.2) വ്യാവസായികമായി ഉയർന്ന ആഭരണങ്ങൾ നിർമ്മിക്കുന്ന സ്‌പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീനുകളിൽ, ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സുകൾ പുറപ്പെടുവിക്കുന്ന ടൈറ്റാനിയം അയോണുകളാണ് വൃത്തിയാക്കാൻ കൂടുതലും ഉപയോഗിക്കുന്നത്.സ്‌പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീനിൽ ഒരു ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സ് സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു, കൂടാതെ ചെറിയ ആർക്ക് സോഴ്‌സ് ഡിസ്‌ചാർജ് ജനറേറ്റുചെയ്‌ത ആർക്ക് പ്ലാസ്മയിലെ ടൈറ്റാനിയം അയോൺ സ്ട്രീം അടിവസ്ത്രത്തിൽ ബോംബെറിഞ്ഞ് വൃത്തിയാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

2. ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് കോട്ടിംഗ്

ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് നേർത്ത ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കുമ്പോൾ, ടൈറ്റാനിയം ടാർഗെറ്റാണ് സ്പട്ടറിംഗിന്റെ ലക്ഷ്യം.ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ സ്പട്ടറിംഗ് പവർ സപ്ലൈയുടെ നെഗറ്റീവ് ഇലക്ട്രോഡുമായി ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു, ടാർഗെറ്റ് വോൾട്ടേജ് 400 ~ 500V ആണ്;ആർഗൺ ഫ്ലക്സ് ഉറപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു, നിയന്ത്രണ വാക്വം (3~8) x10 ആണ്^-1പി.എ.100 ~ 200V വോൾട്ടേജുള്ള ബയാസ് പവർ സപ്ലൈയുടെ നെഗറ്റീവ് ഇലക്ട്രോഡുമായി അടിവസ്ത്രം ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു.

സ്‌പട്ടറിംഗ് ടൈറ്റാനിയം ടാർഗെറ്റിന്റെ പവർ സപ്ലൈ ഓണാക്കിയ ശേഷം, ഒരു ഗ്ലോ ഡിസ്‌ചാർജ് ജനറേറ്റുചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള ആർഗോൺ അയോണുകൾ സ്‌പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യത്തിലേക്ക് ബോംബെറിഞ്ഞ് ടാർഗെറ്റിൽ നിന്ന് ടൈറ്റാനിയം ആറ്റങ്ങളെ പുറന്തള്ളുന്നു.

പ്രതിപ്രവർത്തന വാതക നൈട്രജൻ അവതരിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു, ടൈറ്റാനിയം ആറ്റങ്ങളും നൈട്രജനും കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിൽ ടൈറ്റാനിയം അയോണുകളും നൈട്രജൻ അയോണുകളും ആയി അയോണീകരിക്കപ്പെടുന്നു.അടിവസ്ത്രത്തിൽ പ്രയോഗിക്കുന്ന നെഗറ്റീവ് ബയസ് ഇലക്ട്രിക് ഫീൽഡിന്റെ ആകർഷണത്തിൽ, ടൈറ്റാനിയം അയോണുകളും നൈട്രജൻ അയോണുകളും കെമിക്കൽ പ്രതിപ്രവർത്തനത്തിനും നിക്ഷേപത്തിനും വേണ്ടി അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിലേക്ക് ത്വരിതപ്പെടുത്തുകയും ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് ഫിലിം പാളി രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു.

3. അടിവസ്ത്രം പുറത്തെടുക്കുക

മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച ഫിലിം കനം എത്തിയ ശേഷം, സ്‌പട്ടറിംഗ് പവർ സപ്ലൈ, സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ബയസ് പവർ സപ്ലൈ, എയർ സ്രോതസ്സ് എന്നിവ ഓഫാക്കുക.അടിവസ്ത്ര താപനില 120 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസിനു താഴെയായ ശേഷം, കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിൽ വായു നിറച്ച് അടിവസ്ത്രം പുറത്തെടുക്കുക.

ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്- ഗുവാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻ‌ഹുവ.