১. বোমাবর্ষণ দ্বারা সাবস্ট্রেট পরিষ্কার করা
১.১) স্পাটারিং কোটিং মেশিন সাবস্ট্রেট পরিষ্কার করার জন্য গ্লো ডিসচার্জ ব্যবহার করে। অর্থাৎ, চেম্বারে আর্গন গ্যাস চার্জ করা হয়, ডিসচার্জ ভোল্টেজ প্রায় ১০০০V থাকে, পাওয়ার সাপ্লাই চালু করার পর একটি গ্লো ডিসচার্জ উৎপন্ন হয় এবং আর্গন আয়নের আঘাতের মাধ্যমে সাবস্ট্রেটটি পরিষ্কার করা হয়।
১.২) শিল্পক্ষেত্রে উচ্চমানের অলঙ্কার উৎপাদনে ব্যবহৃত স্পাটারিং কোটিং মেশিনগুলিতে, পরিষ্কার করার জন্য প্রধানত স্মল আর্ক সোর্স থেকে নির্গত টাইটানিয়াম আয়ন ব্যবহার করা হয়। স্পাটারিং কোটিং মেশিনটিতে একটি স্মল আর্ক সোর্স সংযুক্ত থাকে এবং এই স্মল আর্ক সোর্স ডিসচার্জের মাধ্যমে উৎপন্ন আর্ক প্লাজমাতে থাকা টাইটানিয়াম আয়নের প্রবাহকে সাবস্ট্রেটের উপর আঘাত করে তা পরিষ্কার করার জন্য ব্যবহার করা হয়।
২. টাইটানিয়াম নাইট্রাইড প্রলেপ
টাইটানিয়াম নাইট্রাইড পাতলা ফিল্ম জমা করার সময়, স্পাটারিংয়ের জন্য ব্যবহৃত টার্গেট উপাদানটি হলো টাইটানিয়াম টার্গেট। টার্গেট উপাদানটি স্পাটারিং পাওয়ার সাপ্লাইয়ের নেগেটিভ ইলেকট্রোডের সাথে সংযুক্ত থাকে এবং টার্গেট ভোল্টেজ ৪০০~৫০০V; আর্গন ফ্লাক্স স্থির থাকে এবং নিয়ন্ত্রিত ভ্যাকুয়াম হলো (৩~৮) x১০⁻⁶।-1PA. সাবস্ট্রেটটি বায়াস পাওয়ার সাপ্লাইয়ের নেগেটিভ ইলেকট্রোডের সাথে সংযুক্ত থাকে, যার ভোল্টেজ ১০০~২০০V।
স্পাটারিং টাইটানিয়াম টার্গেটের পাওয়ার সাপ্লাই চালু করার পর একটি গ্লো ডিসচার্জ উৎপন্ন হয় এবং উচ্চ-শক্তির আর্গন আয়ন স্পাটারিং টার্গেটকে আঘাত করে, যার ফলে টার্গেট থেকে টাইটানিয়াম পরমাণুগুলো স্পাটার হয়ে যায়।
বিক্রিয়া গ্যাস নাইট্রোজেন প্রবেশ করানো হয় এবং কোটিং চেম্বারে টাইটানিয়াম পরমাণু ও নাইট্রোজেন আয়নিত হয়ে টাইটানিয়াম আয়ন ও নাইট্রোজেন আয়নে পরিণত হয়। সাবস্ট্রেটে প্রয়োগ করা নেগেটিভ বায়াস বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের আকর্ষণে, টাইটানিয়াম আয়ন ও নাইট্রোজেন আয়ন রাসায়নিক বিক্রিয়া এবং অধঃক্ষেপণের জন্য সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠের দিকে ত্বরান্বিত হয়, যার ফলে একটি টাইটানিয়াম নাইট্রাইড ফিল্ম স্তর গঠিত হয়।
৩. সাবস্ট্রেটটি বের করে নিন।
পূর্বনির্ধারিত ফিল্মের পুরুত্বে পৌঁছানোর পর, স্পাটারিং পাওয়ার সাপ্লাই, সাবস্ট্রেট বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই এবং বায়ু উৎস বন্ধ করে দিন। সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা ১২০ ℃-এর নিচে নেমে গেলে, কোটিং চেম্বারটি বায়ু দিয়ে পূর্ণ করুন এবং সাবস্ট্রেটটি বের করে নিন।
এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেম্যাগনেট্রন স্পাটারিং কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারক- গুয়াংডং জেনহুয়া।
পোস্ট করার সময়: ০৭-এপ্রিল-২০২৩