1. Pommituspuhdistusalusta
1.1) Sputteroiva pinnoituskone käyttää hehkupurkausta alustan puhdistamiseen.Toisin sanoen lataa argonkaasu kammioon, purkausjännite on noin 1000 V, kun virtalähde on kytketty päälle, syntyy hehkupurkaus ja substraatti puhdistetaan argonionipommituksella.
1.2) Teollisesti korkealuokkaisia koristeita valmistavissa sputterointikoneissa käytetään enimmäkseen puhdistukseen pienten valokaarien lähteiden lähettämiä titaani-ioneja.Sputterointipäällystyskone on varustettu pienellä kaaren lähteellä, ja pienkaarilähteen purkauksen tuottamaa kaariplasmassa olevaa titaani-ionivirtaa käytetään substraatin pommittamiseen ja puhdistamiseen.
2. Titaaninitridipinnoite
Kun kerrostetaan titaaninitridiohutkalvoja, sputteroinnin kohdemateriaalina on titaanikohde.Kohdemateriaali on kytketty sputterointivirtalähteen negatiiviseen elektrodiin ja kohdejännite on 400 ~ 500 V;Argonvuo on kiinteä ja ohjaustyhjiö on (3-8) x10-1PA.Substraatti on kytketty bias-virtalähteen negatiiviseen elektrodiin, jonka jännite on 100-200 V.
Kun sputteroivan titaanikohteen virtalähde on kytketty päälle, syntyy hehkupurkaus, ja korkeaenergiset argon-ionit pommittavat sputteroivaa kohdetta ruiskuttamalla titaaniatomeja kohteesta.
Reaktiokaasun typpi syötetään, ja titaaniatomit ja typpi ionisoidaan titaani-ioneiksi ja typpi-ioneiksi päällystyskammiossa.Substraattiin kohdistetun negatiivisen bias-sähkökentän vetovoiman alaisena titaani-ionit ja typpi-ionit kiihtyvät substraatin pintaan kemiallista reaktiota ja kerrostumista varten muodostaen titaaninitridikalvokerroksen.
3. Ota alusta pois
Kun ennalta määrätty kalvonpaksuus on saavutettu, sammuta sputterointivirtalähde, substraattibias-virtalähde ja ilmalähde.Kun alustan lämpötila on alle 120 ℃, täytä pinnoitekammio ilmalla ja ota alusta pois.
Tämän artikkelin on julkaissutmagnetronin sputterointipinnoituskoneen valmistaja– Guangdong Zhenhua.
Postitusaika: 07.04.2023