Sruth pròiseas inneal còmhdach sputtering

1. Substrate glanadh bombardment

1.1) Bidh inneal còmhdach sputtering a’ cleachdadh sgaoileadh glow gus an t-substrate a ghlanadh.Is e sin ri ràdh, cuir an gas argon a-steach don t-seòmar, tha bholtadh sgaoilidh timcheall air 1000V, Às deidh an solar cumhachd a thionndadh air, thèid sgaoileadh glaodh a chruthachadh, agus thèid an t-substrate a ghlanadh le bomadh ian argon.

1.2) Ann an innealan còmhdach sputtering a bhios gu gnìomhachasail a’ toirt a-mach sgeadachaidhean àrd, bidh ions titanium air an sgaoileadh le stòran arc beaga air an cleachdadh sa mhòr-chuid airson glanadh.Tha an inneal còmhdach sputtering air a uidheamachadh le stòr arc beag, agus thathas a’ cleachdadh an t-sruth ian titanium anns a ’phlasma arc a ghineadh leis an sgaoileadh stòr arc beag gus an t-substrate a bhomadh agus a ghlanadh.

2. Titanium nitride còmhdach

Nuair a bhios tu a’ tasgadh filmichean tana titanium nitride, is e targaid titanium an stuth targaid airson sputtering.Tha an stuth targaid ceangailte ri dealan àicheil an t-solar cumhachd sputtering, agus is e an bholtadh targaid 400 ~ 500V;Tha an flux argon stèidhichte, agus tha am falamh smachd (3 ~ 8) x10^-1PA.Tha an substrate ceangailte ri dealan àicheil an t-solar cumhachd claon, le bholtadh de 100 ~ 200V.

Às deidh dha solar cumhachd an targaid titanium sputtering a thionndadh air, thèid sgaoileadh glaodh a chruthachadh, agus bidh ions argon àrd-lùth a ’bualadh air an targaid sputtering, a’ spùtadh dadaman titanium bhon targaid.

Thathas a’ toirt a-steach naitridean gas ath-bhualadh, agus tha na dadaman titanium agus naitridean air an ionachadh a-steach do ianan titanium agus ianan nitrogen anns an t-seòmar còmhdaich.Fo tharraing an raon dealain claon àicheil a chaidh a chuir a-steach don t-substrate, bidh ions titanium agus ions nitrogen a ’luathachadh gu uachdar an t-substrate airson ath-bhualadh ceimigeach agus tasgadh gus còmhdach film titanium nitride a chruthachadh.

3. Thoir a-mach an t-substrate

Às deidh dhut an tighead film ro-shuidhichte a ruighinn, cuir dheth an solar cumhachd sputtering, solar cumhachd bias substrate, agus stòr adhair.Às deidh teòthachd an t-substrate a bhith nas ìsle na 120 ℃, lìon an seòmar còmhdaich le èadhar agus thoir a-mach an t-substrate.

Tha an artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach sputtering magnetron- Guangdong Zhenhua.