عملية تدفق آلة الطلاء الاخرق

1. الركيزة تنظيف القصف

1.1) تستخدم آلة الطلاء بالرش تفريغ الوهج لتنظيف الركيزة.وهذا يعني ، شحن غاز الأرجون في الغرفة ، جهد التفريغ حوالي 1000 فولت ، بعد تشغيل مصدر الطاقة ، يتم إنشاء تفريغ توهج ، ويتم تنظيف الركيزة بقصف أيون الأرجون.

1.2) في آلات الطلاء بالرش التي تنتج صناعياً زخارف متطورة ، تستخدم أيونات التيتانيوم المنبعثة من مصادر القوس الصغيرة في الغالب للتنظيف.تم تجهيز آلة الطلاء بالرش بمصدر قوس صغير ، ويتم استخدام تيار أيون التيتانيوم في بلازما القوس الناتج عن تفريغ مصدر القوس الصغير لقصف وتنظيف الركيزة.

2. طلاء نيتريد التيتانيوم

عند ترسيب أغشية رقيقة من نيتريد التيتانيوم ، فإن المادة المستهدفة للرش هي هدف التيتانيوم.يتم توصيل المادة المستهدفة بالإلكترود السالب لمصدر الطاقة المتطاير ، والجهد المستهدف هو 400 ~ 500 فولت ؛تم إصلاح تدفق الأرجون ، وفراغ التحكم هو (3 ~ 8) × 10^-1السلطة الفلسطينية.الركيزة متصلة بالقطب السالب لمصدر الطاقة المتحيز ، بجهد 100 ~ 200 فولت.

بعد تشغيل مصدر الطاقة لهدف التيتانيوم المتطاير ، يتم إنشاء تفريغ توهج ، وتقصف أيونات الأرجون عالية الطاقة الهدف المتقطع ، مما يؤدي إلى رش ذرات التيتانيوم من الهدف.

يتم إدخال نيتروجين غاز التفاعل ، وتتأين ذرات التيتانيوم والنيتروجين في أيونات التيتانيوم وأيونات النيتروجين في حجرة الطلاء.تحت جاذبية المجال الكهربائي للتحيز السلبي المطبق على الركيزة ، تتسارع أيونات التيتانيوم وأيونات النيتروجين إلى سطح الركيزة للتفاعل الكيميائي والترسيب لتشكيل طبقة فيلم نيتريد التيتانيوم.

3. أخرج الركيزة

بعد الوصول إلى سمك الفيلم المحدد مسبقًا ، قم بإيقاف تشغيل مصدر الطاقة المتطاير ومصدر طاقة تحيز الركيزة ومصدر الهواء.بعد أن تكون درجة حرارة الركيزة أقل من 120 درجة مئوية ، املأ غرفة الطلاء بالهواء وأخرج الركيزة.

تم نشر هذه المقالة من قبلالمغنطرون الشركة المصنعة لآلة طلاء الاخرق- قوانغدونغ تشن هوا.