1. Bombardıman yöntemiyle yüzey temizliği
1.1) Püskürtme kaplama makinesi, alt tabakayı temizlemek için parıldayan deşarj kullanır. Yani, argon gazı hazneye doldurulur, deşarj voltajı yaklaşık 1000V'tur. Güç kaynağı açıldıktan sonra, bir parıldayan deşarj oluşturulur ve alt tabaka argon iyon bombardımanı ile temizlenir.
1.2) Endüstriyel olarak yüksek kaliteli süs eşyaları üreten püskürtme kaplama makinelerinde, küçük ark kaynaklarından yayılan titanyum iyonları çoğunlukla temizlik için kullanılır. Püskürtme kaplama makinesi küçük bir ark kaynağı ile donatılmıştır ve küçük ark kaynağı deşarjı tarafından üretilen ark plazmasındaki titanyum iyon akımı, alt tabakayı bombardıman ederek temizlemek için kullanılır.
2. Titanyum nitrür kaplama
Titanyum nitrür ince filmlerin biriktirilmesinde, püskürtme için hedef malzeme titanyum hedefidir. Hedef malzeme, püskürtme güç kaynağının negatif elektroduna bağlanır ve hedef voltajı 400~500V'tur; argon akışı sabittir ve kontrol vakumu (3~8) x10'dur.-1PA. Substrat, 100~200V voltajla bias güç kaynağının negatif elektroduna bağlanır.
Püskürtme yöntemiyle titanyum hedefi oluşturan cihazın güç kaynağı açıldıktan sonra, bir parıldama deşarjı meydana gelir ve yüksek enerjili argon iyonları püskürtme hedefini bombardıman ederek titanyum atomlarını hedeften püskürtür.
Reaksiyon gazı olarak azot verilir ve kaplama odasında titanyum atomları ve azot, titanyum iyonlarına ve azot iyonlarına iyonize edilir. Substrata uygulanan negatif önyargılı elektrik alanının çekimi altında, titanyum iyonları ve azot iyonları kimyasal reaksiyon ve çökelme için substratın yüzeyine doğru hızlanır ve bir titanyum nitrür film tabakası oluşturur.
3. Alt tabakayı çıkarın.
İstenilen film kalınlığına ulaşıldıktan sonra, püskürtme güç kaynağını, alt tabaka ön gerilim güç kaynağını ve hava kaynağını kapatın. Alt tabaka sıcaklığı 120 ℃'nin altına düştükten sonra, kaplama haznesini hava ile doldurun ve alt tabakayı çıkarın.
Bu makale şu yayın tarafından yayımlanmıştır:manyetron püskürtme kaplama makinesi üreticisi– Guangdong Zhenhua.
Yayın tarihi: 07-08-2023