Püskürtme Kaplama Makinesinin Proses Akışı

1. Bombardıman temizleme alt tabakası

1.1) Püskürtme kaplama makinesi, alt tabakayı temizlemek için kızdırma deşarjı kullanır.Yani, argon gazını hazneye şarj edin, deşarj voltajı yaklaşık 1000V'dir, Güç kaynağını açtıktan sonra, bir kızdırma deşarjı üretilir ve alt tabaka argon iyonu bombardımanı ile temizlenir.

1.2) Endüstriyel olarak üst düzey süs eşyaları üreten püskürtmeli kaplama makinelerinde, küçük ark kaynaklarının yaydığı titanyum iyonları çoğunlukla temizlik için kullanılır.Püskürtme kaplama makinesi, küçük bir ark kaynağı ile donatılmıştır ve küçük ark kaynağı deşarjı tarafından üretilen ark plazmasındaki titanyum iyon akışı, alt tabakayı bombardıman etmek ve temizlemek için kullanılır.

2. Titanyum nitrür kaplama

Titanyum nitrür ince filmleri biriktirirken, püskürtme için hedef malzeme titanyum hedefidir.Hedef malzeme püskürtme güç kaynağının negatif elektroduna bağlıdır ve hedef voltaj 400~500V'dir;Argon akışı sabittir ve kontrol vakumu (3~8) x10'dur.^-1PA.Substrat, 100~200V'luk bir voltaj ile öngerilimli güç kaynağının negatif elektroduna bağlanır.

Püskürtme titanyum hedefinin güç kaynağını açtıktan sonra, bir ışıltılı deşarj üretilir ve yüksek enerjili argon iyonları püskürtme hedefini bombalayarak hedeften titanyum atomları fışkırtır.

Reaksiyon gazı nitrojen verilir ve titanyum atomları ve nitrojen, kaplama odasında titanyum iyonlarına ve nitrojen iyonlarına iyonize edilir.Alt tabakaya uygulanan negatif yanlılık elektrik alanının çekimi altında, titanyum iyonları ve nitrojen iyonları, bir titanyum nitrür film tabakası oluşturmak üzere kimyasal reaksiyon ve biriktirme için alt tabakanın yüzeyine doğru hızlanır.

3. Alt tabakayı çıkarın

Önceden belirlenmiş film kalınlığına ulaştıktan sonra, püskürtme güç kaynağını, alt tabaka eğilimli güç kaynağını ve hava kaynağını kapatın.Alt tabaka sıcaklığı 120 °C'nin altına düştükten sonra, kaplama odasını hava ile doldurun ve alt tabakayı çıkarın.

Bu makale tarafından yayınlandımagnetron püskürtme kaplama makinesi üreticisi– Guangdong Zhenhua.