Processtroom van sputterende coatingmachine

1. Substraat voor bombardementen

1.1) Sputtercoatingmachine gebruikt glimontlading om het substraat te reinigen.Dat wil zeggen, laad het argongas in de kamer, de ontladingsspanning is ongeveer 1000V. Na het inschakelen van de voeding wordt een glimontlading gegenereerd en wordt het substraat gereinigd door argonionenbombardement.

1.2) In sputtercoatingmachines die industrieel hoogwaardige ornamenten produceren, worden meestal titaniumionen die worden uitgezonden door kleine boogbronnen gebruikt voor reiniging.De sputtercoatingmachine is uitgerust met een kleine boogbron en de titaniumionenstroom in het boogplasma gegenereerd door de kleine boogbronontlading wordt gebruikt om het substraat te bombarderen en schoon te maken.

2. Titaannitridecoating

Bij het afzetten van dunne films van titaniumnitride is het doelmateriaal voor sputteren een titaniumdoel.Het doelmateriaal is verbonden met de negatieve elektrode van de sputtervoeding en de doelspanning is 400 ~ 500V;De argonflux is vast en het regelvacuüm is (3~8) x10^-1VADER.Het substraat is verbonden met de negatieve elektrode van de biasvoeding, met een spanning van 100~200V.

Na het inschakelen van de voeding van het sputterende titaniumdoel, wordt een glimontlading gegenereerd en hoogenergetische argonionen bombarderen het sputterende doel, waardoor titaniumatomen uit het doel sputteren.

Het reactiegas stikstof wordt ingebracht en de titaanatomen en stikstof worden in de bekledingskamer geïoniseerd tot titaanionen en stikstofionen.Onder de aantrekkingskracht van het elektrische veld met negatieve voorspanning dat op het substraat wordt aangebracht, versnellen titaniumionen en stikstofionen naar het oppervlak van het substraat voor chemische reactie en afzetting om een ​​titaniumnitridefilmlaag te vormen.

3. Haal het substraat eruit

Schakel na het bereiken van de vooraf bepaalde filmdikte de sputtervoeding, de substraatvoorspanningsvoeding en de luchtbron uit.Nadat de substraattemperatuur lager is dan 120 ℃, vult u de coatingkamer met lucht en haalt u het substraat eruit.

Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van magnetron sputtercoatingmachines– Guangdong Zhenhua.