Шүршигч бүрэх машины процессын урсгал

1. Бөмбөгдөлтийн цэвэрлэгээний суурь

1.1) Шүршигч бүрэх машин нь субстратыг цэвэрлэхийн тулд гэрэлтдэг цэнэг ашигладаг. Өөрөөр хэлбэл, аргон хийг камерт цэнэглэж, цэнэг алдалтын хүчдэл нь 1000В орчим байдаг. Цахилгаан тэжээлийг асаасны дараа гэрэлтдэг цэнэг үүсч, субстратыг аргон ионы бөмбөгдөлтөөр цэвэрлэдэг.

1.2) Өндөр зэрэглэлийн чимэглэл үйлдвэрлэдэг шүршигч бүрэх машинуудад жижиг нуман эх үүсвэрээс ялгардаг титан ионуудыг ихэвчлэн цэвэрлэхэд ашигладаг. Шүршигч бүрэх машин нь жижиг нуман эх үүсвэрээр тоноглогдсон бөгөөд жижиг нуман эх үүсвэрийн цэнэг алдалтаас үүссэн нуман плазм дахь титан ионы урсгалыг суурь гадаргууг бөмбөгдөж цэвэрлэхэд ашигладаг.

2. Титан нитридийн бүрхүүл

Титан нитридийн нимгэн хальсыг хуримтлуулах үед титаны бай нь цацалтын зорилтот материал юм. Бай материал нь цацалтын тэжээлийн сөрөг электродтой холбогдсон бөгөөд зорилтот хүчдэл нь 400 ~ 500V байна. Аргоны урсгал тогтмол бөгөөд хяналтын вакуум нь (3 ~ 8) x 10 байна.^-1PA. Субстрат нь 100~200В хүчдэлтэй, хэвийсэн цахилгаан хангамжийн сөрөг электродтой холбогдсон.

Титанаар цацаж буй байны цахилгаан тэжээлийг асаасны дараа гэрэлтсэн ялгадас үүсч, өндөр энергитэй аргон ионууд цацаж буй байг бөмбөгдөж, титаны атомуудыг байнаас цацдаг.

Урвалын хийн азотыг нэвтрүүлж, титаны атомууд болон азотыг бүрэх камерт титаны ион болон азотын ион болгон ионжуулдаг. Субстратад хэрэглэсэн сөрөг хазайлтын цахилгаан орны таталцлын дор титаны ионууд болон азотын ионууд нь субстратын гадаргуу дээр хурдасч, химийн урвалд орж, тунадасжиж титан нитридийн хальсан давхарга үүсгэдэг.

3. Субстратыг гаргаж ав

Тодорхойлсон хальсны зузаанд хүрсний дараа цацалтын цахилгаан хангамж, суурь хэсгийн хазайлтын цахилгаан хангамж, агаарын эх үүсвэрийг унтраа. Суурийн температур 120°C-аас доош орсны дараа бүрэх камерыг агаараар дүүргээд суурь материалыг гаргаж авна.

Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнмагнетрон цацах бүрэх машин үйлдвэрлэгч- Гуандун Жэнхуа.