Püskürtme örtük maşynynyň proses akymy

1. Bombardment arassalaýjy substrat

1.1) Püskürtme örtük maşyny substraty arassalamak üçin ýalpyldawuk çykaryşy ulanýar. Başgaça aýdylanda, argon gazyny kameranyň içine zarýadlaň, çykaryş naprýaženiýesi 1000V töwereginde bolýar. Elektrik üpjünçiligini açandan soň, ýalpyldawuk çykaryşy emele gelýär we substrat argon ion bombardmany bilen arassalanýar.

1.2) Senagat taýdan ýokary derejeli bezeg önümlerini öndürýän püskürtme örtük maşynlarynda, kiçi ýaý çeşmelerinden çykýan titan ionlary, esasan, arassalamak üçin ulanylýar. Püskürtme örtük maşyny kiçi ýaý çeşmesi bilen enjamlaşdyrylandyr we kiçi ýaý çeşmesiniň boşalmagy bilen döreýän ýaý plazmasyndaky titan ion akymy substraty bombalamak we arassalamak üçin ulanylýar.

2. Titan nitridi örtügi

Titan nitridi inçe plýonkalaryny çökdürende, püskürtmek üçin nyşana material titan nyşanadyr. Nyşana material püskürtmek üçin elektrik çeşmesiniň negatiw elektrodyna birikdirilendir we nyşana naprýaženiýesi 400 ~ 500V; argon akymy üýtgewsiz we gözegçilik wakuumy (3 ~ 8) x 10^-1PA. Substrat 100 ~ 200V woltlylyk bilen, gyşarnyksyz elektrik üpjünçiliginiň otrisatel elektrodyna birikdirilendir.

Püskürýän titan nyşanasynyň elektrik üpjünçiligini açandan soň, ýalpyldawuk zyňyndysy döreýär we ýokary energiýaly argon ionlary püskürýän nyşana bombardman edýär we nyşanadan titan atomlaryny püskürdýär.

Reaksiýa gaz azoty girizilýär we titan atomlary we azot örtük kamerasynda titan ionlaryna we azot ionlaryna ionlaşdyrylýar. Substrata berlen negatiw elektrik meýdanynyň çekilişi astynda titan ionlary we azot ionlary himiki reaksiýa we çökündi üçin substratyň ýüzüne tizleşip, titan nitridi plýonka gatlagyny emele getirýär.

3. Substraty çykaryň

Öňünden kesgitlenen plýonka galyňlygyna ýetenden soň, püskürtme elektrik üpjünçiligini, substratyň hereketlendiriji elektrik üpjünçiligini we howa çeşmesini öçüriň. Substratyň temperaturasy 120 ℃-den aşak düşenden soň, örtük kamerasyny howa bilen dolduryň we substraty çykaryň.

Bu makala çap edildimagnetron püskürtme örtük maşynynyň öndürijisi- Guangdong Zhenhua.