1. Bombardement skoonmaak substraat
1.1) Sputterende coating masjien gebruik gloei ontlading om die substraat skoon te maak.Dit wil sê, laai die argongas in die kamer, ontladingsspanning is ongeveer 1000V, Nadat die kragtoevoer aangeskakel is, word 'n gloei ontlading gegenereer, en die substraat word skoongemaak deur argon-ioonbombardement.
1.2) In sputterbedekkingsmasjiene wat in die industrie hoë-end ornamente vervaardig, word titaanione wat deur klein boogbronne vrygestel word, meestal vir skoonmaak gebruik.Die sputterbedekkingsmasjien is toegerus met 'n klein boogbron, en die titaan-ioonstroom in die boogplasma wat deur die klein boogbronontlading gegenereer word, word gebruik om die substraat te bombardeer en skoon te maak.
2. Titaannitriedbedekking
Wanneer titaniumnitried dun films neergelê word, is die teikenmateriaal vir sputtering titaniumteiken.Die teikenmateriaal is gekoppel aan die negatiewe elektrode van die sputterkragtoevoer, en die teikenspanning is 400 ~ 500V;Die argon-vloed is vas, en die beheervakuum is (3~8) x10-1PA.Die substraat is gekoppel aan die negatiewe elektrode van die voorspanningskragtoevoer, met 'n spanning van 100~200V.
Nadat die kragtoevoer van die sputterende titaniumteiken aangeskakel is, word 'n gloei ontlading gegenereer, en hoë-energie argon-ione bombardeer die sputterende teiken en sputter titaniumatome van die teiken af.
Die reaksiegas stikstof word ingebring, en die titaanatome en stikstof word in die bedekkingskamer in titaanione en stikstofione geïoniseer.Onder die aantrekkingskrag van die negatiewe vooroordeel elektriese veld wat op die substraat toegepas word, versnel titaniumione en stikstofione na die oppervlak van die substraat vir chemiese reaksie en afsetting om 'n titaniumnitriedfilmlaag te vorm.
3. Haal die substraat uit
Nadat die voorafbepaalde filmdikte bereik is, skakel die sputterkragtoevoer, substraat-voorspanningskragtoevoer en lugbron af.Nadat die substraattemperatuur laer as 120 ℃ is, vul die deklaagkamer met lug en haal die substraat uit.
Hierdie artikel is gepubliseer deurvervaardiger van magnetron sputtering coating masjien– Guangdong Zhenhua.
Postyd: Apr-07-2023