ஸ்பட்டரிங் கோட்டிங் இயந்திரத்தின் செயல்முறை ஓட்டம்

1. அடி மூலக்கூறைத் தாக்குதல் மூலம் சுத்தம் செய்தல்

1.1) ஸ்பட்டரிங் கோட்டிங் இயந்திரம், அடி மூலக்கூறைச் சுத்தம் செய்ய ஒளிர்வு வெளியேற்றத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. அதாவது, அறைக்குள் ஆர்கான் வாயுவைச் செலுத்தி, அதன் வெளியேற்ற மின்னழுத்தம் சுமார் 1000V ஆக இருக்கும். மின்சாரம் வழங்கப்பட்ட பிறகு, ஒரு ஒளிர்வு வெளியேற்றம் உருவாகி, ஆர்கான் அயனித் தாக்குதலின் மூலம் அடி மூலக்கூறு சுத்தம் செய்யப்படுகிறது.

1.2) உயர்தர ஆபரணங்களைத் தொழில்ரீதியாக உற்பத்தி செய்யும் ஸ்பட்டரிங் கோட்டிங் இயந்திரங்களில், சிறிய வில் மூலங்களிலிருந்து வெளிப்படும் டைட்டேனியம் அயனிகள் பெரும்பாலும் சுத்தம் செய்வதற்காகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ஸ்பட்டரிங் கோட்டிங் இயந்திரத்தில் ஒரு சிறிய வில் மூலம் பொருத்தப்பட்டுள்ளது, மேலும் அந்தச் சிறிய வில் மூலத்தின் வெளியேற்றத்தால் உருவாக்கப்படும் வில் பிளாஸ்மாவில் உள்ள டைட்டேனியம் அயனி ஓட்டமானது, அடி மூலக்கூறின் மீது மோதி அதைச் சுத்தம் செய்யப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

2. டைட்டானியம் நைட்ரைடு பூச்சு

டைட்டானியம் நைட்ரைடு மென்படலங்களைப் படியவைக்கும்போது, ​​ஸ்பட்டரிங்கிற்கான இலக்குப் பொருள் டைட்டானியம் இலக்காகும். இலக்குப் பொருள் ஸ்பட்டரிங் மின்வழங்கியின் எதிர்மின்முனையுடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது, மற்றும் இலக்கு மின்னழுத்தம் 400~500V ஆகும்; ஆர்கான் பாய்வு நிலையானது, மற்றும் கட்டுப்பாட்டு வெற்றிடம் (3~8) x10 ஆகும்.^-1PA. அடி மூலக்கூறானது, 100 முதல் 200V வரையிலான மின்னழுத்தத்தில், சார்பு மின்வழங்கியின் எதிர்மின் முனையுடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது.

சிதறடிக்கப்படும் டைட்டேனியம் இலக்கின் மின்சாரம் இயக்கப்பட்ட பிறகு, ஒரு ஒளிர்வு வெளியேற்றம் உருவாகி, உயர் ஆற்றல் கொண்ட ஆர்கான் அயனிகள் அந்த இலக்கின் மீது மோதி, இலக்கிலிருந்து டைட்டேனியம் அணுக்களைச் சிதறடிக்கின்றன.

வினை வாயுவான நைட்ரஜன் செலுத்தப்படும்போது, ​​பூச்சுக் கலனில் உள்ள டைட்டேனியம் அணுக்களும் நைட்ரஜனும் அயனியாக்கம் அடைந்து டைட்டேனியம் அயனிகளாகவும் நைட்ரஜன் அயனிகளாகவும் மாறுகின்றன. அடி மூலக்கூறின் மீது செலுத்தப்படும் எதிர்மறைச் சாய்வு மின்புலத்தின் ஈர்ப்பின் கீழ், டைட்டேனியம் அயனிகளும் நைட்ரஜன் அயனிகளும் வேதிவினை புரிவதற்காகவும் படிவதற்காகவும் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை நோக்கி வேகமாகச் சென்று, ஒரு டைட்டேனியம் நைட்ரைடு படல அடுக்கை உருவாக்குகின்றன.

3. அடி மூலக்கூறை வெளியே எடுக்கவும்

முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட படலத் தடிமனை அடைந்த பிறகு, ஸ்பட்டரிங் மின்சாரம், அடி மூலக்கூறு சார்பு மின்சாரம் மற்றும் காற்று மூலம் ஆகியவற்றை அணைக்கவும். அடி மூலக்கூறின் வெப்பநிலை 120 ℃-க்குக் கீழே குறைந்த பிறகு, பூச்சுக் கலனைக் காற்றால் நிரப்பி, அடி மூலக்கூறை வெளியே எடுக்கவும்.

இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுமேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்- குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா.