Flussu di prucessu di a macchina di rivestimentu sputtering

1. Sustrato di pulizia di bombe

1.1) A macchina di rivestimentu sputtering usa una scarica luminosa per pulisce u sustrato.Vale à dì, carica u gasu argon in a camera, a tensione di scaricamentu hè di circa 1000 V, dopu avè accennatu l'alimentazione, una scarica luminosa hè generata, è u sustrato hè pulitu da u bumbardamentu di ioni argon.

1.2) In i machini di sputtering coating chì producenu industrialmente ornamenti high-end, ioni di titaniu emessi da fonti d'arcu chjucu sò soprattuttu usati per a pulizia.A macchina di rivestimentu sputtering hè dotata di una piccula fonte d'arcu, è u flussu di ioni di titaniu in u plasma di l'arcu generatu da a scarica di a fonti di l'arcu hè utilizatu per bombardà è pulisce u sustrato.

2. Revestimentu di nitruru di titaniu

Quandu si depositanu filmi sottili di nitruru di titaniu, u materiale di destinazione per a sputtering hè u target di titaniu.U materiale di destinazione hè cunnessu à l'elettrodu negativu di l'alimentazione sputtering, è a tensione di destinazione hè 400 ~ 500V;U flussu di argon hè fissu, è u vacuum di cuntrollu hè (3 ~ 8) x10^-1PA.U sustrato hè cunnessu à l'elettrodu negativu di l'alimentazione bias, cù una tensione di 100 ~ 200V.

Dopu avè attivatu l'alimentazione di l'obiettivu di titaniu sputtering, hè generata una scarica luminosa, è l'ioni d'argon d'alta energia bombardanu u mira di sputtering, sputtering atomi di titaniu da u mira.

L'azotu di u gasu di reazione hè introduttu, è l'atomi di titaniu è u nitrogenu sò ionizzati in ioni di titaniu è ioni di nitrogenu in a camera di revestimentu.Sutta l'attrazione di u campu elettricu di preghjudiziu negativu appiicatu à u sustrato, i ioni di titaniu è l'ioni di nitrogenu acceleranu à a superficia di u sustrato per a reazione chimica è a deposizione per furmà una capa di film di nitruru di titaniu.

3. Pigliate u sustrato

Dopu avè righjuntu u spessore di film predeterminatu, spegne l'alimentazione di sputtering, l'alimentazione di bias di sustrato è a fonte d'aria.Dopu chì a temperatura di u sustrato hè più bassu di 120 ℃, riempia a camera di revestimentu cù l'aria è caccià u sustrato.

Stu articulu hè publicatu daFabbricante di macchine di rivestimentu di magnetron sputtering- Guangdong Zhenhua.