స్పుటరింగ్ కోటింగ్ మెషిన్ యొక్క ప్రక్రియ ప్రవాహం

1. బాంబార్డ్‌మెంట్ క్లీనింగ్ సబ్‌స్ట్రేట్

1.1) స్పుటరింగ్ కోటింగ్ మెషీన్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ను శుభ్రం చేయడానికి గ్లో డిశ్చార్జ్‌ను ఉపయోగిస్తుంది. అంటే, ఛాంబర్‌లోకి ఆర్గాన్ వాయువును పంపినప్పుడు, డిశ్చార్జ్ వోల్టేజ్ సుమారు 1000V ఉంటుంది. పవర్ సప్లైని ఆన్ చేసిన తర్వాత, ఒక గ్లో డిశ్చార్జ్ ఉత్పత్తి అవుతుంది, మరియు ఆర్గాన్ అయాన్ల తాకిడి ద్వారా సబ్‌స్ట్రేట్ శుభ్రం చేయబడుతుంది.

1.2) పారిశ్రామికంగా ఉన్నత శ్రేణి ఆభరణాలను ఉత్పత్తి చేసే స్పుటరింగ్ కోటింగ్ యంత్రాలలో, శుభ్రపరచడానికి చిన్న ఆర్క్ మూలాల నుండి వెలువడే టైటానియం అయాన్లను ఎక్కువగా ఉపయోగిస్తారు. స్పుటరింగ్ కోటింగ్ యంత్రం ఒక చిన్న ఆర్క్ మూలాన్ని కలిగి ఉంటుంది, మరియు ఆ చిన్న ఆర్క్ మూల ఉత్సర్గం ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడిన ఆర్క్ ప్లాస్మాలోని టైటానియం అయాన్ ప్రవాహాన్ని సబ్‌స్ట్రేట్‌పై తాకి శుభ్రపరచడానికి ఉపయోగిస్తారు.

2. టైటానియం నైట్రైడ్ పూత

టైటానియం నైట్రైడ్ పలుచని పొరలను నిక్షేపించేటప్పుడు, స్పుటరింగ్ కోసం ఉపయోగించే టార్గెట్ మెటీరియల్ టైటానియం టార్గెట్. ఈ టార్గెట్ మెటీరియల్‌ను స్పుటరింగ్ పవర్ సప్లై యొక్క నెగటివ్ ఎలక్ట్రోడ్‌కు కలుపుతారు, మరియు టార్గెట్ వోల్టేజ్ 400~500V ఉంటుంది; ఆర్గాన్ ఫ్లక్స్ స్థిరంగా ఉంటుంది, మరియు కంట్రోల్ వాక్యూమ్ (3~8) x10 ఉంటుంది.^-1PA. సబ్‌స్ట్రేట్‌ను 100~200V వోల్టేజ్‌తో బయాస్ పవర్ సప్లై యొక్క నెగటివ్ ఎలక్ట్రోడ్‌కు కనెక్ట్ చేస్తారు.

స్పుటరింగ్ టైటానియం టార్గెట్ యొక్క విద్యుత్ సరఫరాను ఆన్ చేసిన తర్వాత, ఒక గ్లో డిశ్చార్జ్ ఉత్పత్తి అవుతుంది, మరియు అధిక శక్తి గల ఆర్గాన్ అయాన్లు స్పుటరింగ్ టార్గెట్‌పై దాడి చేసి, టార్గెట్ నుండి టైటానియం అణువులను స్పుటరింగ్ చేస్తాయి.

చర్య వాయువైన నైట్రోజన్‌ను ప్రవేశపెట్టినప్పుడు, కోటింగ్ చాంబర్‌లో టైటానియం పరమాణువులు మరియు నైట్రోజన్, టైటానియం అయాన్లుగా మరియు నైట్రోజన్ అయాన్లుగా అయనీకరణం చెందుతాయి. సబ్‌స్ట్రేట్‌కు వర్తింపజేసిన నెగటివ్ బయాస్ విద్యుత్ క్షేత్రం యొక్క ఆకర్షణ వల్ల, టైటానియం అయాన్లు మరియు నైట్రోజన్ అయాన్లు రసాయన చర్య మరియు నిక్షేపణ కోసం సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలం వైపు వేగవంతమై, టైటానియం నైట్రైడ్ ఫిల్మ్ పొరను ఏర్పరుస్తాయి.

3. సబ్‌స్ట్రేట్‌ను బయటకు తీయండి

ముందుగా నిర్ణయించిన ఫిల్మ్ మందాన్ని చేరుకున్న తర్వాత, స్పుటరింగ్ పవర్ సప్లై, సబ్‌స్ట్రేట్ బయాస్ పవర్ సప్లై మరియు ఎయిర్ సోర్స్‌ను ఆపివేయండి. సబ్‌స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత 120 ℃ కంటే తక్కువకు వచ్చిన తర్వాత, కోటింగ్ ఛాంబర్‌ను గాలితో నింపి, సబ్‌స్ట్రేట్‌ను బయటకు తీయండి.

ఈ వ్యాసం ప్రచురించబడిందిమాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారు- గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా.