Fikorianan'ny dingana amin'ny milina fandokoana sputtering

1. Fitaovana fanadiovana baomba

1.1) Mampiasa "glow discharge" ny milina "sputtering coating" mba hanadiovana ny "spotting". Izany hoe, ampidirina ao anaty "chamber" ny entona argon, ary manodidina ny 1000V ny voltazy fivoahana. Rehefa avy alefa ny famatsiana herinaratra dia misy fivoahana hazavana mivoaka, ary diovina amin'ny alalan'ny "argon ion bombardement" ny "spotting".

1.2) Ao amin'ireo milina fandokoana sputtering izay mamokatra haingon-trano avo lenta amin'ny indostria, ny ion titane avoakan'ny loharano arko kely no tena ampiasaina amin'ny fanadiovana. Ny milina fandokoana sputtering dia misy loharano arko kely, ary ny renirano ion titane ao amin'ny plasma arko vokarin'ny fivoahan'ny loharano arko kely no ampiasaina hanadiovana sy handoroana ny substrate.

2. Sosona titane nitrida

Rehefa mametraka sarimihetsika manify titane nitride, ny fitaovana kendrena amin'ny sputtering dia titane target. Ny fitaovana kendrena dia mifandray amin'ny elektroda négatif amin'ny famatsiana herinaratra sputtering, ary ny voltase kendrena dia 400 ~ 500V; Ny flux argon dia raikitra, ary ny banga fanaraha-maso dia (3 ~ 8) x10.^-1PA. Mifandray amin'ny elektroda négatif an'ny famatsiana herinaratra bias ny substrate, miaraka amin'ny voltase 100~200V.

Rehefa avy alefa ny famatsiana herinaratra ho an'ny lasibatra titane miparitaka, dia misy fivoahan'ny hazavana mipoitra, ary misy ion argon angovo avo lenta mandatsaka baomba ny lasibatra miparitaka, ka mamoaka atôma titane avy amin'ny lasibatra.

Ampidirina ny azota entona mihetsika, ary ny atôma titane sy ny azota dia mivadika ho ion titane sy ion azota ao amin'ny efitrano fandrakofana. Eo ambanin'ny fisintonana ny saha elektrika mitongilana ratsy ampiharina amin'ny substrate, ny ion titane sy ny ion azota dia miakatra haingana eny ambonin'ny substrate ho an'ny fihetsika simika sy ny fametrahana mba hamorona sosona sarimihetsika titane nitride.

3. Esory ny substrate

Rehefa mahatratra ny hatevin'ny sarimihetsika voafaritra mialoha, vonoy ny famatsiana herinaratra miparitaka, ny famatsiana herinaratra substrate bias, ary ny loharanon'ny rivotra. Rehefa latsaky ny 120 ℃ ny mari-pana substrate, fenoy rivotra ny efitrano fandrakofana ary esory ny substrate.

Navoakan'nympanamboatra milina fandokoana magnetron sputtering- Guangdong Zhenhua.