የስፑተርቲንግ ሽፋን ማሽን የሂደት ፍሰት

1. የቦምብ ማጽጃ ንጣፍ

1.1) የስፑተር ሽፋን ማሽን ንጣፍን ለማጽዳት የግሎት ፈሳሽ ይጠቀማል። ማለትም የአርጎን ጋዝን ወደ ክፍሉ ውስጥ ይሙሉት፣ የሚወጣው ቮልቴጅ 1000V አካባቢ ነው። የኃይል አቅርቦቱን ካበሩ በኋላ የግሎት ፈሳሽ ይፈጠራል፣ እና ንጣፍ በአርጎን አዮን ቦምብ ይጸዳል።

1.2) በኢንዱስትሪ ደረጃ ከፍተኛ ደረጃ ያላቸውን ጌጣጌጦችን በሚያመርቱ የስፐተርንግ ሽፋን ማሽኖች ውስጥ፣ በትናንሽ ቅስት ምንጮች የሚለቀቁ የቲታኒየም አየኖች በአብዛኛው ለጽዳት ያገለግላሉ። የስፐተርንግ ሽፋን ማሽን አነስተኛ ቅስት ምንጭ ያለው ሲሆን፣ በትንሽ ቅስት ምንጭ ፈሳሽ የሚፈጠረው በአርክ ፕላዝማ ውስጥ ያለው የቲታኒየም አዮን ዥረት ደግሞ ንጣፉን ለማፈንዳትና ለማጽዳት ይጠቅማል።

2. የቲታኒየም ናይትሬድ ሽፋን

ቀጭን የቲታኒየም ናይትሬድ ፊልሞችን ሲያስቀምጡ፣ የሚረጨው ኢላማ ቁሳቁስ የቲታኒየም ኢላማ ነው። ኢላማው ቁሳቁስ ከሚረጨው የኃይል አቅርቦት አሉታዊ ኤሌክትሮድ ጋር የተገናኘ ሲሆን የዒላማው ቮልቴጅ ደግሞ 400~500V ነው፤ የአርጎን ፍሰት ቋሚ ነው፣ እና የመቆጣጠሪያው ቫክዩም (3~8) x10 ነው።^-1PA። ንጣፉ ከ100-200V ቮልቴጅ ጋር ካለው የብያኔ ኃይል አቅርቦት አሉታዊ ኤሌክትሮድ ጋር የተገናኘ ነው።

የሚተነፍሰውን የቲታኒየም ኢላማ የኃይል አቅርቦት ካበሩ በኋላ፣ የሚያብረቀርቅ ፈሳሽ ይፈጠራል፣ እና ከፍተኛ ኃይል ያላቸው የአርጎን አየኖች የሚተነፍሰውን ኢላማ ይደበድባሉ፣ የቲታኒየም አቶሞችን ከዒላማው ያስወጣሉ።

የምላሽ ጋዝ ናይትሮጅን ይተዋወቃል፣ እና የቲታኒየም አቶሞች እና ናይትሮጅን በሽፋን ክፍሉ ውስጥ ወደ ቲታኒየም አየኖች እና ናይትሮጅን አየኖች ይቀየራሉ። በንጣፉ ላይ በሚተገበረው አሉታዊ አድልዎ የኤሌክትሪክ መስክ መሳብ ስር፣ የቲታኒየም አየኖች እና የናይትሮጅን አየኖች ለኬሚካላዊ ምላሽ እና ክምችት ወደ ንጣፍ ወለል በፍጥነት ይጣደፋሉ፣ ይህም የቲታኒየም ናይትሬድ ፊልም ንብርብር ይፈጥራል።

3. ንጣፉን ያስወግዱ

የተወሰነውን የፊልም ውፍረት ከደረሱ በኋላ የሚተነፍሰውን የኃይል አቅርቦት፣ የንዑስ ክፍልን የኃይል አቅርቦት እና የአየር ምንጭን ያጥፉ። የንዑስ ክፍል የሙቀት መጠኑ ከ120 ℃ በታች ከሆነ በኋላ የሽፋን ክፍሉን በአየር ይሙሉት እና ንዑስ ክፍሉን ያስወግዱት።

ይህ ጽሑፍ የታተመው በማግኔትሮን ስፕተርንግ ሽፋን ማሽን አምራች- ጓንግዶንግ ዠንዋ