स्पटरिंग कोटिंग मशीनची प्रक्रिया प्रवाह

१. बॉम्बार्डमेंटद्वारे सब्सट्रेटची स्वच्छता

१.१) स्पटरिंग कोटिंग मशीन सब्सट्रेट स्वच्छ करण्यासाठी ग्लो डिस्चार्जचा वापर करते. म्हणजेच, चेंबरमध्ये आर्गॉन वायू भरला जातो, डिस्चार्ज व्होल्टेज सुमारे १०००V असतो, वीज पुरवठा चालू केल्यानंतर, एक ग्लो डिस्चार्ज तयार होतो आणि आर्गॉन आयनच्या माऱ्याने सब्सट्रेट स्वच्छ केला जातो.

१.२) औद्योगिक स्तरावर उच्च दर्जाचे दागिने तयार करणाऱ्या स्पटरिंग कोटिंग मशीनमध्ये, लहान आर्क स्रोतांमधून उत्सर्जित होणारे टायटॅनियम आयन प्रामुख्याने स्वच्छतेसाठी वापरले जातात. स्पटरिंग कोटिंग मशीनमध्ये एक लहान आर्क स्रोत बसवलेला असतो आणि त्या लहान आर्क स्रोताच्या डिस्चार्जमुळे निर्माण झालेल्या आर्क प्लाझ्मामधील टायटॅनियम आयनच्या प्रवाहाचा उपयोग सब्सट्रेटवर मारा करून ते स्वच्छ करण्यासाठी केला जातो.

२. टायटॅनियम नायट्राइड लेपन

टायटॅनियम नायट्राइडचे पातळ थर जमा करताना, स्पटरिंगसाठी वापरले जाणारे लक्ष्य साहित्य टायटॅनियम टार्गेट असते. हे लक्ष्य साहित्य स्पटरिंग पॉवर सप्लायच्या निगेटिव्ह इलेक्ट्रोडला जोडलेले असते आणि टार्गेट व्होल्टेज ४००~५००V असते; आर्गॉन फ्लक्स स्थिर ठेवला जातो आणि नियंत्रित व्हॅक्यूम (३~८) x१० असतो.^-1PA. सबस्ट्रेट 100~200V व्होल्टेज असलेल्या बायस पॉवर सप्लायच्या निगेटिव्ह इलेक्ट्रोडला जोडलेला असतो.

स्पटरिंग टायटॅनियम टार्गेटचा वीजपुरवठा चालू केल्यानंतर, एक ग्लो डिस्चार्ज निर्माण होतो आणि उच्च-ऊर्जा असलेले आर्गॉन आयन स्पटरिंग टार्गेटवर आदळतात, ज्यामुळे टार्गेटमधून टायटॅनियम अणूंचे स्पटरिंग होते.

अभिक्रिया वायू नायट्रोजन आत सोडला जातो आणि कोटिंग चेंबरमध्ये टायटॅनियमचे अणू व नायट्रोजन यांचे टायटॅनियम आयन आणि नायट्रोजन आयनांमध्ये आयनीकरण होते. सबस्ट्रेटवर लावलेल्या नकारात्मक बायस विद्युत क्षेत्राच्या आकर्षणाखाली, टायटॅनियम आयन आणि नायट्रोजन आयन रासायनिक अभिक्रिया व निक्षेपणासाठी सबस्ट्रेटच्या पृष्ठभागाकडे वेग घेतात, ज्यामुळे टायटॅनियम नायट्राइड फिल्मचा थर तयार होतो.

३. सब्सट्रेट बाहेर काढा

पूर्वनिश्चित फिल्मची जाडी गाठल्यावर, स्पटरिंग पॉवर सप्लाय, सबस्ट्रेट बायस पॉवर सप्लाय आणि एअर सोर्स बंद करा. सबस्ट्रेटचे तापमान १२० ℃ पेक्षा कमी झाल्यावर, कोटिंग चेंबरमध्ये हवा भरा आणि सबस्ट्रेट बाहेर काढा.

हा लेख यांनी प्रकाशित केला आहेमॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन उत्पादक- ग्वांगडोंग झेन्हुआ.