1. Бомбардмент тазалау негізі
1.1) Шашырату жабыны машинасы негізді тазарту үшін жарқыл разрядын пайдаланады. Яғни, аргон газын камераға зарядтаңыз, разряд кернеуі шамамен 1000 В құрайды. Қуат көзін қосқаннан кейін жарқыл разряды пайда болады және негіз аргон ионымен бомбалау арқылы тазартылады.
1.2) Өнеркәсіптік түрде жоғары сапалы әшекейлер шығаратын шашырату жабын машиналарында тазалау үшін негізінен шағын доға көздерінен бөлінетін титан иондары қолданылады. Шашырату жабын машинасы шағын доға көзімен жабдықталған, ал шағын доға көзінің разрядынан пайда болатын доға плазмасындағы титан иондарының ағыны негізді бомбалау және тазарту үшін қолданылады.
2. Титан нитриді жабыны
Титан нитриді жұқа қабықшаларын төккен кезде, шашыратуға арналған нысана материалы титан нысанасы болып табылады. Нысаналы материал шашырату қуат көзінің теріс электродына қосылған, нысана кернеуі 400 ~ 500 В; аргон ағыны бекітілген, ал басқару вакуумы (3 ~ 8) x 10-1PA. Негіз 100~200В кернеумен ығысу қуат көзінің теріс электродына қосылған.
Шашырататын титан нысанасының қуат көзін қосқаннан кейін жарқыл разряды пайда болады, ал жоғары энергиялы аргон иондары шашырататын нысананы бомбалап, нысанадан титан атомдарын шашыратады.
Реакциялық газ азоты енгізіледі, ал титан атомдары мен азот жабын камерасында титан иондары мен азот иондарына иондалады. Негізге қолданылатын теріс ығысу электр өрісінің тартылуымен титан иондары мен азот иондары химиялық реакция және тұндыру үшін негіз бетіне үдейді, нәтижесінде титан нитридінің қабықша қабаты түзіледі.
3. Негізді алып тастаңыз
Қабықшаның белгіленген қалыңдығына жеткеннен кейін, шашырату қуат көзін, негіздің ығысу қуат көзін және ауа көзін өшіріңіз. Негіз температурасы 120 ℃-тан төмен түскеннен кейін, жабын камерасын ауамен толтырып, негізді алып тастаңыз.
Бұл мақаланы жариялағанмагнетронды бүріккіш жабын машинасын өндіруші– Гуандун Чжэнхуа.
Жарияланған уақыты: 07.04.2023