1. बमबारी सफाई सब्सट्रेट
१.१) स्पटरिङ कोटिंग मेसिनले सब्सट्रेट सफा गर्न ग्लो डिस्चार्ज प्रयोग गर्दछ।अर्थात्, च्याम्बरमा आर्गन ग्यास चार्ज गर्नुहोस्, डिस्चार्ज भोल्टेज लगभग 1000V छ, पावर सप्लाई अन गरेपछि, एक चमक डिस्चार्ज उत्पन्न हुन्छ, र सब्सट्रेट आर्गन आयन बमबारीद्वारा सफा गरिन्छ।
1.2) औद्योगिक रूपमा उच्च-अन्तका गहनाहरू उत्पादन गर्ने स्पटरिङ कोटिंग मेसिनहरूमा, सानो चाप स्रोतहरूबाट उत्सर्जित टाइटेनियम आयनहरू प्रायः सफा गर्न प्रयोग गरिन्छ।स्पटरिङ कोटिंग मेसिन एक सानो चाप स्रोत संग सुसज्जित छ, र सानो चाप स्रोत डिस्चार्ज द्वारा उत्पन्न आर्क प्लाज्मा मा टाइटेनियम आयन स्ट्रिम बमबारी र सब्सट्रेट सफा गर्न प्रयोग गरिन्छ।
2. टाइटेनियम नाइट्राइड कोटिंग
टाइटेनियम नाइट्राइड पातलो फिल्महरू जम्मा गर्दा, स्पटरिङको लागि लक्षित सामग्री टाइटेनियम लक्ष्य हो।लक्ष्य सामग्री स्पटरिंग पावर सप्लाईको नकारात्मक इलेक्ट्रोडसँग जोडिएको छ, र लक्ष्य भोल्टेज 400 ~ 500V छ;आर्गन फ्लक्स निश्चित छ, र नियन्त्रण भ्याकुम (3 ~ 8) x10 छ-1PAसब्सट्रेट 100 ~ 200V को भोल्टेजको साथ, पूर्वाग्रह पावर आपूर्तिको नकारात्मक इलेक्ट्रोडसँग जोडिएको छ।
स्पटरिङ टाइटेनियम लक्ष्यको पावर सप्लाई सक्रिय गरेपछि, एक चमक डिस्चार्ज उत्पन्न हुन्छ, र उच्च-ऊर्जा आर्गन आयनहरूले स्पटरिङ लक्ष्यमा बमबारी गर्दछ, लक्ष्यबाट टाइटेनियम परमाणुहरू स्पटर गर्दै।
प्रतिक्रिया ग्याँस नाइट्रोजन पेश गरिएको छ, र टाइटेनियम परमाणुहरू र नाइट्रोजन कोटिंग कक्षमा टाइटेनियम आयनहरू र नाइट्रोजन आयनहरूमा आयनीकृत हुन्छन्।सब्सट्रेटमा लागू गरिएको नकारात्मक पूर्वाग्रहको विद्युतीय क्षेत्रको आकर्षण अन्तर्गत, टाइटेनियम आयनहरू र नाइट्रोजन आयनहरू सब्सट्रेटको सतहमा रासायनिक प्रतिक्रिया र डिपोजिसनको लागि टाइटेनियम नाइट्राइड फिल्म तह बनाउनको लागि द्रुत हुन्छन्।
3. सब्सट्रेट बाहिर निकाल्नुहोस्
पूर्वनिर्धारित फिलिम मोटाईमा पुगेपछि, स्पटरिङ पावर सप्लाई, सब्सट्रेट बायस पावर सप्लाई, र हावा स्रोत बन्द गर्नुहोस्।सब्सट्रेटको तापक्रम १२० डिग्री सेल्सियस भन्दा कम भएपछि, कोटिंग चेम्बरलाई हावाले भर्नुहोस् र सब्सट्रेट बाहिर निकाल्नुहोस्।
यो लेख द्वारा प्रकाशित छम्याग्नेट्रोन स्पटरिङ कोटिंग मेसिन निर्माता- गुआंग्डोंग Zhenhua।
पोस्ट समय: अप्रिल-०७-२०२३