स्पटरिंग कोटिंग मशीन की प्रक्रिया प्रवाह

1. बमबारी द्वारा सफाई की जाने वाली सतह

1.1) स्पटरिंग कोटिंग मशीन सब्सट्रेट को साफ करने के लिए ग्लो डिस्चार्ज का उपयोग करती है। यानी, चैंबर में आर्गन गैस भरी जाती है, डिस्चार्ज वोल्टेज लगभग 1000V होता है। बिजली चालू करने के बाद, ग्लो डिस्चार्ज उत्पन्न होता है, और आर्गन आयन बमबारी द्वारा सब्सट्रेट को साफ किया जाता है।

1.2) औद्योगिक रूप से उच्च श्रेणी के आभूषणों का उत्पादन करने वाली स्पटरिंग कोटिंग मशीनों में, सफाई के लिए मुख्य रूप से छोटे आर्क स्रोतों द्वारा उत्सर्जित टाइटेनियम आयनों का उपयोग किया जाता है। स्पटरिंग कोटिंग मशीन में एक छोटा आर्क स्रोत लगा होता है, और छोटे आर्क स्रोत के डिस्चार्ज से उत्पन्न आर्क प्लाज्मा में टाइटेनियम आयन धारा का उपयोग सब्सट्रेट पर बमबारी और सफाई के लिए किया जाता है।

2. टाइटेनियम नाइट्राइड कोटिंग

टाइटेनियम नाइट्राइड की पतली परतें जमा करते समय, स्पटरिंग के लिए लक्ष्य सामग्री टाइटेनियम लक्ष्य होती है। लक्ष्य सामग्री को स्पटरिंग पावर सप्लाई के ऋणात्मक इलेक्ट्रोड से जोड़ा जाता है, और लक्ष्य वोल्टेज 400~500V होता है; आर्गन प्रवाह स्थिर होता है, और नियंत्रित निर्वात (3~8) x10 होता है।^-1PA. सबस्ट्रेट को बायस पावर सप्लाई के नेगेटिव इलेक्ट्रोड से जोड़ा जाता है, जिसका वोल्टेज 100~200V होता है।

स्पटरिंग टाइटेनियम टारगेट की पावर सप्लाई चालू करने के बाद, एक ग्लो डिस्चार्ज उत्पन्न होता है, और उच्च-ऊर्जा वाले आर्गन आयन स्पटरिंग टारगेट पर बमबारी करते हैं, जिससे टारगेट से टाइटेनियम परमाणु स्पटर हो जाते हैं।

अभिक्रियाशील गैस नाइट्रोजन को प्रवाहित किया जाता है, और कोटिंग कक्ष में टाइटेनियम परमाणु और नाइट्रोजन आयन टाइटेनियम आयन और नाइट्रोजन आयन में परिवर्तित हो जाते हैं। सब्सट्रेट पर लगाए गए ऋणात्मक बायस विद्युत क्षेत्र के आकर्षण के कारण, टाइटेनियम आयन और नाइट्रोजन आयन रासायनिक अभिक्रिया और निक्षेपण के लिए सब्सट्रेट की सतह की ओर प्रक्षेपित होते हैं, जिससे टाइटेनियम नाइट्राइड फिल्म की एक परत बनती है।

3. सब्सट्रेट को बाहर निकालें

पूर्व निर्धारित फिल्म की मोटाई प्राप्त होने के बाद, स्पटरिंग पावर सप्लाई, सबस्ट्रेट बायस पावर सप्लाई और एयर सोर्स को बंद कर दें। सबस्ट्रेट का तापमान 120 ℃ से कम होने पर, कोटिंग चैंबर को हवा से भरें और सबस्ट्रेट को बाहर निकाल लें।

यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैमैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन निर्माता- गुआंग्डोंग झेनहुआ।