១. ស្រទាប់ខាងក្រោមសម្អាតការទម្លាក់គ្រាប់បែក
១.១) ម៉ាស៊ីនស្រោបស្ព្រាយទ័រប្រើការបញ្ចេញពន្លឺដើម្បីសម្អាតស្រទាប់ខាងក្រោម។ នោះគឺ បញ្ចូលឧស្ម័នអារហ្គនចូលទៅក្នុងបន្ទប់ វ៉ុលបញ្ចេញគឺប្រហែល 1000V បន្ទាប់ពីបើកការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល ការបញ្ចេញពន្លឺត្រូវបានបង្កើត ហើយស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានសម្អាតដោយការបាញ់អ៊ីយ៉ុងអារហ្គន។
១.២) នៅក្នុងម៉ាស៊ីនថ្នាំកូត sputtering ដែលផលិតគ្រឿងតុបតែងលំដាប់ខ្ពស់ក្នុងឧស្សាហកម្ម អ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមដែលបញ្ចេញដោយប្រភពធ្នូតូចៗភាគច្រើនត្រូវបានប្រើសម្រាប់សម្អាត។ ម៉ាស៊ីនថ្នាំកូត sputtering ត្រូវបានបំពាក់ដោយប្រភពធ្នូតូចមួយ ហើយស្ទ្រីមអ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមនៅក្នុងប្លាស្មាធ្នូដែលបង្កើតឡើងដោយការបញ្ចេញប្រភពធ្នូតូចៗត្រូវបានប្រើដើម្បីបាញ់ផ្លោង និងសម្អាតស្រទាប់ខាងក្រោម។
2. ថ្នាំកូតទីតានីញ៉ូមនីទ្រីត
នៅពេលដាក់ស្រទាប់ស្តើងទីតានីញ៉ូមនីទ្រីត សម្ភារៈគោលដៅសម្រាប់ការបាញ់ថ្នាំគឺជាគោលដៅទីតានីញ៉ូម។ សម្ភារៈគោលដៅត្រូវបានភ្ជាប់ទៅនឹងអេឡិចត្រូតអវិជ្ជមាននៃការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលបាញ់ថ្នាំ ហើយវ៉ុលគោលដៅគឺ 400~500V; លំហូរអារហ្គុនត្រូវបានជួសជុល ហើយកន្លែងទំនេរត្រួតពិនិត្យគឺ (3~8) x10។-1PA។ ស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានភ្ជាប់ទៅនឹងអេឡិចត្រូតអវិជ្ជមាននៃការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប៊ីយ៉ាស ជាមួយនឹងវ៉ុល 100~200V។
បន្ទាប់ពីបើកការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលរបស់គោលដៅទីតានីញ៉ូមដែលកំពុងបាញ់ ការបញ្ចេញពន្លឺត្រូវបានបង្កើត ហើយអ៊ីយ៉ុងអារហ្គុងថាមពលខ្ពស់បាញ់ទៅលើគោលដៅដែលកំពុងបាញ់ ដោយបាញ់អាតូមទីតានីញ៉ូមចេញពីគោលដៅ។
អាសូតឧស្ម័នប្រតិកម្មត្រូវបានណែនាំ ហើយអាតូមទីតានីញ៉ូម និងអាសូតត្រូវបានអ៊ីយ៉ូដទៅជាអ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូម និងអ៊ីយ៉ុងអាសូតនៅក្នុងបន្ទប់ថ្នាំកូត។ ក្រោមការទាក់ទាញនៃដែនអគ្គិសនីលំអៀងអវិជ្ជមានដែលបានអនុវត្តទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម អ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូម និងអ៊ីយ៉ុងអាសូតបង្កើនល្បឿនទៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមសម្រាប់ប្រតិកម្មគីមី និងការដាក់ស្រទាប់ខាងក្រោម ដើម្បីបង្កើតជាស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តទីតានីញ៉ូមនីទ្រីត។
៣. យកស្រទាប់ខាងក្រោមចេញ
បន្ទាប់ពីឈានដល់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តដែលបានកំណត់ទុកជាមុន សូមបិទការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលបាញ់ថ្នាំ ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលលំអៀងស្រទាប់ខាងក្រោម និងប្រភពខ្យល់។ បន្ទាប់ពីសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមទាបជាង 120 ℃ សូមបំពេញបន្ទប់ថ្នាំកូតដោយខ្យល់ ហើយយកស្រទាប់ខាងក្រោមចេញ។
អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតម៉ាញ៉េត្រុង sputtering— នៅ Guangdong Zhenhua។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ មេសា-០៧-២០២៣