व्हॅक्यूम कोटिंग मशीनच्या प्रक्रिया काय आहेत? कार्य तत्व काय आहे?

दव्हॅक्यूम कोटिंगमशीन प्रक्रिया यामध्ये विभागली आहे: व्हॅक्यूम बाष्पीभवन कोटिंग, व्हॅक्यूम स्पटरिंग कोटिंग आणि व्हॅक्यूम आयन कोटिंग.

१, व्हॅक्यूम बाष्पीभवन कोटिंग

व्हॅक्यूम स्थितीत, धातू, धातूंचे मिश्रधातू इत्यादी पदार्थांचे बाष्पीभवन करा, नंतर त्यांना सब्सट्रेट पृष्ठभागावर जमा करा, बाष्पीभवन कोटिंग पद्धत बहुतेकदा प्रतिरोधक हीटिंगचा वापर करते आणि नंतर कोटिंग सामग्रीवर इलेक्ट्रॉन बीम बॉम्बर्डमेंट करते, त्यांना गॅस टप्प्यात बाष्पीभवन करा, नंतर सब्सट्रेट पृष्ठभागावर जमा करा, ऐतिहासिकदृष्ट्या, व्हॅक्यूम वाष्प निक्षेपण हे PVD पद्धतीमध्ये वापरले जाणारे पूर्वीचे तंत्रज्ञान आहे.

२、थुंकणारा कोटिंग

(Ar) भरलेल्या व्हॅक्यूम परिस्थितीत वायू ग्लो डिस्चार्जच्या अधीन असतो. या क्षणी आर्गॉन (Ar) अणू आयन नायट्रोजन आयन (Ar) मध्ये बदलतात. विद्युत क्षेत्राच्या बळाने आयन प्रवेगित होतात आणि कोटिंग मटेरियलपासून बनवलेल्या कॅथोड टार्गेटवर बॉम्बफेक करतात. लक्ष्य थुंकले जाईल आणि सब्सट्रेट पृष्ठभागावर जमा केले जाईल. स्पटर कोटिंगमधील घटना आयन, सामान्यतः ग्लो डिस्चार्जद्वारे मिळवले जातात, 10-2pa ते 10Pa च्या श्रेणीत असतात. त्यामुळे सब्सट्रेटकडे उड्डाण करताना थुंकलेले कण व्हॅक्यूम चेंबरमधील वायू रेणूंशी सहजपणे टक्कर देतात, ज्यामुळे गतीची दिशा यादृच्छिक होते आणि जमा झालेली फिल्म एकसमान होणे सोपे होते.

३, आयन लेप

व्हॅक्यूम परिस्थितीत, व्हॅक्यूम स्थितीत, लेपित पदार्थाच्या अणूंचे अंशतः आयनीकरण करण्यासाठी विशिष्ट प्लाझ्मा आयनीकरण तंत्राचा वापर केला जातो. त्याच वेळी अनेक उच्च-ऊर्जा तटस्थ अणू तयार होतात, जे सब्सट्रेटवर नकारात्मकपणे पक्षपाती असतात. अशा प्रकारे, आयन सब्सट्रेट पृष्ठभागावर खोल नकारात्मक पक्षपातीखाली जमा केले जातात आणि एक पातळ फिल्म तयार केली जाते.