Theвакуум бүрэхМашины процессыг: вакуум ууршуулах бүрэх, вакуум цацах бүрэх, вакуум ион бүрэх гэж хуваадаг.
1、Вакуум ууршуулах бүрэх
Вакуум нөхцөлд металл, металл хайлш гэх мэт материалыг ууршуулж, дараа нь тэдгээрийг субстратын гадаргуу дээр байрлуулж, ууршуулах бүрэх аргыг ихэвчлэн эсэргүүцэх халаалт, дараа нь бүрэх материалыг электрон цацрагаар бөмбөгдөж, хийн фаз руу ууршуулж, дараа нь субстратын гадаргуу дээр хуримтлуулж, түүхийн үүднээс авч үзвэл, вакуум уурын хуримтлалыг PVD технологид ашигладаг.
2、Цэвэрлэх бүрэх
Энэ хий нь (Ar) дүүргэсэн вакуум нөхцөлд гялалзах ялгаралтанд өртдөг. Энэ үед аргон (Ar) атомууд нь азотын ионууд (Ar) болж ионууд нь цахилгаан талбайн хүчээр хурдасч, бүрэх материалаар хийгдсэн катодын байг бөмбөгддөг тул бай нь цацагдаж, ерөнхий давхаргад цацагдаж, субстратын гадаргуу дээр хуримтлагдана. Гялалзсан ялгадасын хувьд 10-2па-аас 10Па-ийн хооронд байдаг，Тиймээс цацарсан тоосонцор нь субстрат руу нисэх үед вакуум камер дахь хийн молекулуудтай мөргөлдөхөд хялбар бөгөөд хөдөлгөөний чиглэлийг санамсаргүй болгож, хуримтлагдсан хальсыг жигд жигд болгодог.
3、Ионы бүрээс
Вакуум нөхцөлд, Вакуум нөхцөлд, бүрэх материалын атомыг ион болгон хэсэгчлэн ионжуулахын тулд тодорхой плазмын ионжуулалтын аргыг ашигласан. Үүний зэрэгцээ субстрат дээр сөрөг хандлагатай өндөр энергитэй олон тооны саармаг атомууд үүсдэг.Ийм байдлаар ионууд субстратын гадаргуу дээр гүн сөрөг хэвийсэн хальс үүсгэдэг.
Шуудангийн цаг: 2023-03-23