Ko tepaninga korehaukua wehea te tukanga miihini ki: paninga whakaetonga korehau, paninga whakaetonga marua me te paninga katote korehau.
1, paninga whakaetonga korehau
I raro i te ahua korehau, kia whakaeto te rauemi, penei i te whakarewa, te koranu whakarewa, me etahi atu ka waiho ki runga i te mata o te tïpako, ko te tikanga whakaetonga whakakikorua he maha te whakamahi i te whakamahana whakawera, katahi ka pupuhihia te kurupae irahiko o nga mea paninga, ka whakaeto ki te wahanga hau, ka waiho ki te mata o te tïpako, i mua, ko te whakamaarama kohu kohu te tikanga o mua i whakamahia i roto i te PVD.
2、Sputtering paninga
Ka tukuna te hau ki raro i nga tikanga korehau kua whakakiia (Ar) I tenei wa ko te argon (Ar) ngota ngota ki roto i nga katote hauota (Ar), ka whakaterehia nga katote e te kaha o te papa hiko, ka pupuhi i te taumata cathode i hangaia mai i te mea paninga, ka pupuhi te punga ka waiho ki runga i te mata o te taputapu, ka puta te koti i roto i te papa. te awhe o te 10-2pa ki te 10Pa，Na he ngawari nga matūriki karekau ki te tukinga ki nga ngota ngota hau i roto i te ruma korehau i te wa e rere ana ki te tïpako, kia matapōkeretia te ahunga o te nekehanga me te kiriata kua waiho kia noho rite.
3, paninga katote
I raro i nga tikanga korehau, I raro i te ahua korehau, I whakamahia etahi tikanga katote plasma ki te katote i nga ngota rauemi whakakikorua ki nga katote. I te wa ano ka puta te maha o nga ngota koretake o te kaha nui ， he kino te rītaha ki runga i te substrate. I tenei ara, ka whakatakotoria nga katote ki runga i te mata o te tïpako i raro i te rītaha kino hohonu ki te hanga i te kiriata kikokore.
Te wa tuku: Maehe-23-2023