Thevakuuminis dengimasMašinų procesas skirstomas į: vakuuminį garinimą, vakuuminį purškimą ir vakuuminį joninį dengimą.
1. Vakuuminio garinimo danga
Vakuume medžiaga, pvz., metalas, metalo lydinys ir kt., išgaruojama, o tada nusodinama ant pagrindo paviršiaus. Garinimo dengimo metodas dažnai apima varžinį kaitinimą, o tada dengimo medžiaga bombarduojama elektronų pluoštu, išgarinama į dujų fazę ir nusodinama ant pagrindo paviršiaus. Istoriškai vakuuminis garų nusodinimas yra ankstesnė PVD metodo technologija.
2, purškimo danga
Dujos yra veikiamos rušinamojo išlydžio vakuumo sąlygomis, užpildytomis (Ar). Šiuo metu argono (Ar) atomai virsta azoto jonais (Ar). Jonus greitina elektrinio lauko jėga ir jie bombarduoja katodo taikinį, pagamintą iš dangos medžiagos, kuris bus išpurškiamas ir nusodinamas ant pagrindo paviršiaus. Dulkinimo dangoje, paprastai gaunamoje rušinamojo išlydžio būdu, esantys jonai yra nuo 10⁻²Pa iki 10⁻¹⁸Pa. Todėl išpurškiamos dalelės, skriedamos link pagrindo, lengvai susiduria su dujų molekulėmis vakuuminėje kameroje, todėl judėjimo kryptis tampa atsitiktinė, o nusodinta plėvelė lengvai tolygi.
3. Jonų danga
Vakuume, vakuume, naudojant tam tikrą plazmos jonizacijos techniką, dangos medžiagos atomai iš dalies jonizuojami į jonus. Tuo pačiu metu susidaro daug didelės energijos neutralių atomų, kurie yra neigiamai elektriškai aktyvuoti substrato atžvilgiu. Tokiu būdu jonai nusėda ant substrato paviršiaus esant stipriam neigiamam krūviui ir sudaro ploną plėvelę.
Įrašo laikas: 2023 m. kovo 23 d.