ຂະບວນການເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນຫຍັງ? ຫຼັກການການເຮັດວຽກແມ່ນຫຍັງ?

ໄດ້ການເຄືອບສູນຍາກາດຂະບວນການເຄື່ອງໄດ້ຖືກແບ່ງອອກເປັນ: ການເຄືອບ evaporation ສູນຍາກາດ, ການເຄືອບສູນຍາກາດ sputtering ແລະການເຄືອບ ion ສູນຍາກາດ.

1, ການເຄືອບການລະເຫີຍສູນຍາກາດ

ພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດ, ເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸ evaporated, ເຊັ່ນ: ໂລຫະ, ໂລຫະປະສົມໂລຫະ, ແລະອື່ນໆ. ຫຼັງຈາກນັ້ນຝາກໃຫ້ເຂົາເຈົ້າໃສ່ພື້ນຜິວ substrate ໄດ້, ວິທີການເຄືອບການລະເຫີຍແມ່ນມັກຈະໃຊ້ຄວາມຮ້ອນຕ້ານທານ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນລະເບີດ beam ເອເລັກໂຕຣນິກຂອງອຸປະກອນການເຄືອບ, ເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາ evaporated ເຂົ້າໄປໃນໄລຍະອາຍແກັສ, ຫຼັງຈາກນັ້ນຝາກໄວ້ເທິງຫນ້າດິນ substrate, ປະຫວັດສາດ, vaporation ເຕັກໂນໂລຊີ PV ວິທີການ deposition ກ່ອນຫນ້ານີ້.

2, ການເຄືອບ sputtering

ອາຍແກັສຈະຖືກປ່ອຍອອກມາພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດທີ່ເຕັມໄປດ້ວຍ (Ar) ໃນເວລານີ້ອາຕອມ argon (Ar) ion ເຂົ້າໄປໃນ ions ໄນໂຕຣເຈນ (Ar), ion ໄດ້ຖືກເລັ່ງດ້ວຍແຮງຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ, ແລະລະເບີດເປົ້າຫມາຍ cathode ທີ່ເຮັດຈາກວັດສະດຸເຄືອບ, ເປົ້າຫມາຍຈະຖືກ sputtered ອອກແລະຝາກຢູ່ເທິງພື້ນຜິວ substrate ໃນ sputtering ໄຟຟ້າ, ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມເສຍຫາຍ. ລະດັບຂອງ 10-2pa ຫາ 10Pa, ດັ່ງນັ້ນອະນຸພາກ sputtered ງ່າຍທີ່ຈະ collide ກັບໂມເລກຸນອາຍແກັສຢູ່ໃນຫ້ອງສູນຍາກາດໃນເວລາທີ່ບິນໄປສູ່ substrate ໄດ້, ເຮັດໃຫ້ທິດທາງການເຄື່ອນໄຫວແບບສຸ່ມແລະຮູບເງົາທີ່ຝາກໄວ້ງ່າຍທີ່ຈະເປັນເອກະພາບ.

3​, ການ​ເຄືອບ​ໄອ​ອອນ​

ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດ, ພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດ, ໄດ້ໃຊ້ເຕັກນິກການ ionisation plasma ບາງຢ່າງເພື່ອ ionise ບາງສ່ວນຂອງອາຕອມຂອງວັດສະດຸເຄືອບເປັນ ions. ໃນເວລາດຽວກັນ, ອະຕອມທີ່ເປັນກາງພະລັງງານສູງຈໍານວນຫຼາຍໄດ້ຖືກຜະລິດ, ເຊິ່ງມີຄວາມລໍາອຽງທາງລົບຕໍ່ substrate. ດ້ວຍວິທີນີ້, ions ຈະຖືກຝາກໄວ້ຢູ່ດ້ານ substrate ພາຍໃຕ້ຄວາມລໍາອຽງທາງລົບທີ່ເລິກເຊິ່ງ.