Ewpêçandina valahiyêPêvajoya makîneyê tê dabeşkirin: pêçandina buharkirina valahiyê, pêçandina sputterkirina valahiyê û pêçandina îyonên valahiyê.
1, pêçandina buharkirina valahiyê
Di bin şert û mercên valahiyê de, materyalê wekî metal, alloy metal û hwd. bikin buhar, dûv re li ser rûyê substratê bihêlin, rêbaza pêçandina buharê pir caran germkirina berxwedanê tê bikar anîn, û dûv re jî materyalê pêçandinê bi bombebarana tîrêjên elektronan bombebaran dike, wan dike buharê û vediguherîne qonaxa gazê, dûv re jî li ser rûyê substratê tê hiştin, di dîrokê de, pêçandina buhara valahiyê teknolojiya berê ye ku di rêbaza PVD de tê bikar anîn.
2, pêçandina birijandinê
Gaz di bin şert û mercên valahiyê yên tijî (Ar) de rastî berdana şewqê tê. Di vê gavê de atomên argonê (Ar) dibin îyonên nîtrojenê (Ar). Îyon bi hêza qada elektrîkê lez dibin û hedefa katodê ya ku ji materyalê pêçanê hatiye çêkirin bombebaran dikin, hedef dê were avêtin û li ser rûyê substratê were danîn. Îyonên qewimî di pêçana sputterê de, ku bi gelemperî bi berdana şewqê têne bidestxistin, di navbera 10-2pa û 10Pa de ne. Ji ber vê yekê perçeyên sputterkirî dema ku ber bi substratê ve difirin, bi hêsanî bi molekulên gazê yên di odeya valahiyê de li hev dikevin, ev yek rêça tevgerê bêserûber dike û fîlma razandî hêsan dike ku yekreng be.
3、Kultura îyonê
Di bin şert û mercên valahiyê de, di bin şert û mercên valahiyê de, teknîkek îyonîzasyona plazmayê ya diyarkirî tê bikar anîn da ku atomên materyalê pêçandinê bi qismî îyonîze bikin û bibin îyon. Di heman demê de gelek atomên bêalî yên enerjiya bilind têne hilberandin, ku li ser substratê bi awayekî neyînî alîgir in. Bi vî rengî, îyon li ser rûyê substratê di bin alîgirek neyînî ya kûr de têne danîn da ku fîlimek zirav çêbikin.
Dema weşandinê: 23ê Adarê, 2023