그만큼진공 코팅기계 공정은 진공 증착 코팅, 진공 스퍼터링 코팅 및 진공 이온 코팅으로 구분됩니다.
1. 진공증착 코팅
진공 조건 하에서 금속, 금속 합금 등의 재료를 증발시킨 후 기판 표면에 증착합니다. 증발 코팅 방법은 종종 저항 가열을 사용한 다음 코팅 재료에 전자빔을 충돌시켜 기체 상태로 증발시킨 후 기판 표면에 증착합니다. 역사적으로 진공 증착은 PVD 방법에서 사용되는 더 이른 기술입니다.
2. 스퍼터링 코팅
가스는 (Ar)로 채워진 진공 조건 하에서 글로우 방전을 받습니다. 이때 아르곤(Ar) 원자 이온이 질소 이온(Ar)으로 변합니다. 이온은 전기장의 힘으로 가속되어 코팅 재료로 만들어진 캐소드 타겟을 폭격하고 타겟은 스퍼터링되어 기판 표면에 증착됩니다. 스퍼터 코팅에서 입사 이온은 일반적으로 글로우 방전으로 얻어지며 10-2pa~10Pa 범위에 있습니다. 따라서 스퍼터링된 입자는 기판을 향해 날아갈 때 진공 챔버 내의 가스 분자와 쉽게 충돌하여 이동 방향이 무작위가 되고 증착된 필름이 균일해지기 쉽습니다.
3、이온 코팅
진공 조건 하에서, 특정 플라즈마 이온화 기술을 사용하여 코팅 재료 원자를 이온으로 부분적으로 이온화합니다. 동시에 많은 고에너지 중성 원자가 생성되어 기판에 음으로 바이어스됩니다. 이런 식으로 이온은 깊은 음 바이어스 하에서 기판 표면에 증착되어 박막을 형성합니다.
게시 시간: 2023년 3월 23일