Theвакуумдық жабынмашина процесі: вакуумды булану жабыны, вакуумды шашыратқыш жабын және вакуумды ионды жабын болып бөлінеді.
1、Вакуумды булану жабыны
Вакуумдық жағдайда материалды буландырыңыз, мысалы, металл, металл қорытпасы және т.
2 、 шашатын жабын
Газ (Ar) толтырылған вакуум жағдайында жарқыраған разрядқа ұшырайды. Осы кезде аргон (Ar) атомдары азот иондарына (Ar) айналады, иондар электр өрісінің күшімен жеделдетіледі және жабын материалынан жасалған катодты нысананы бомбалайды, нысана шашыранды болады және субстраттың жалпы қабатында шашыраңқы қабаттарға түседі. жарқырау разряды бойынша, 10-2pa-дан 10Pa-ға дейінгі диапазонда, сондықтан шашыраған бөлшектер субстратқа қарай ұшқан кезде вакуумдық камерадағы газ молекулаларымен соқтығысуы оңай, қозғалыс бағытын кездейсоқ етеді және тұндырылған пленканы біркелкі етеді.
3、Иондық жабын
Вакуум жағдайында, Вакуум жағдайында, жабын материалының атомдарын иондарға ішінара ионизациялау үшін белгілі бір плазмалық иондау әдісін қолданды. Сонымен қатар субстратқа теріс икемді болатын көптеген жоғары энергиялы бейтарап атомдар өндіріледі. Осылайша, иондар субстрат бетіне терең теріс иілу астында тұнба қабатын қалыптастыру үшін тұндырылады.
Хабарлама уақыты: 23 наурыз 2023 ж