מהם תהליכים של מכונת ציפוי ואקום? מהו עקרון העבודה?

הציפוי ואקוםתהליך המכונה מחולק ל: ציפוי אידוי בוואקום, ציפוי התזה בוואקום וציפוי יונים בוואקום.

1. ציפוי אידוי ואקום

בתנאי ואקום, החומר מתאדה, כגון מתכת, סגסוגת מתכת וכו', ולאחר מכן מורחים אותו על פני המצע. שיטת ציפוי אידוי לרוב משתמשת בחימום התנגדות, ולאחר מכן בהפצצת אלומת אלקטרונים על חומר הציפוי, הופכת אותו לאידוי לפאזה גזית, ולאחר מכן מורחים אותו על פני המצע. מבחינה היסטורית, שקיעת אדים בוואקום היא הטכנולוגיה המוקדמת יותר ששימשה בשיטת PVD.

2、ציפוי התזה

הגז עובר פריקת זוהר בתנאי ואקום מלאים ב-(Ar). ברגע זה, אטומי הארגון (Ar) הופכים ליוני חנקן (Ar). היונים מואצים על ידי כוח השדה החשמלי ומפציצים את מטרת הקתודה העשויה מחומר הציפוי. המטרה תתפזר ותשקע על פני המצע. יונים פוגעים בציפוי התזת, המתקבל בדרך כלל על ידי פריקת זוהר, הם בטווח של 10-2 פסקל עד 10 פסקל. לכן, החלקיקים שהתפזרו מתנגשים בקלות במולקולות הגז בתא הוואקום כשהם טסים לעבר המצע, מה שהופך את כיוון התנועה לאקראי ואת הסרט המופקד לאחיד.

3、ציפוי יונים

בתנאי ואקום, בתנאי ואקום, נעשה שימוש בטכניקת יינון פלזמה מסוימת כדי ליינן חלקית את אטומי חומר הציפוי ליונים. במקביל נוצרים אטומים ניטרליים רבים בעלי אנרגיה גבוהה, אשר מוטים שלילית על המצע. בדרך זו, יונים מושקעים על פני המצע תחת הטיה שלילית עמוקה ליצירת שכבה דקה.