AvákuumbevonatA gépi eljárás fel van osztva: vákuumos párologtatásos bevonatolás, vákuumos porlasztásos bevonatolás és vákuumionos bevonatolás.
1. Vákuumpárologtatásos bevonat
Vákuum alatt az anyagot, például a fémet, fémötvözetet stb. elpárologtatják, majd az aljzat felületére helyezik. A párologtatásos bevonási módszer gyakran ellenállásfűtést alkalmaz, majd a bevonóanyag elektronsugaras bombázását, gázfázisba párologtatását, majd az aljzat felületére való lerakódást. A PVD módszerben a vákuumos gőzfázisú leválasztás volt a korábbi technológia.
2. Porlasztásos bevonat
A gázt (Ar)-val töltött vákuum alatt parázskisülésnek vetik alá. Ekkor az argon (Ar) atomok nitrogénionokká (Ar) alakulnak. Az ionokat az elektromos tér ereje felgyorsítja, és bombázzák a bevonóanyagból készült katódcélpontot, amely porlasztva lerakódik az aljzat felületére. A parázskisüléssel előállított porlasztásos bevonatban lévő ionok 10-2pa és 10Pa között vannak. Így a porlasztott részecskék könnyen ütköznek a vákuumkamrában lévő gázmolekulákkal, amikor az aljzat felé repülnek, így a mozgás iránya véletlenszerű, és a lerakódott film könnyen egyenletes lesz.
3. Ionbevonat
Vákuum körülmények között, vákuumos körülmények között, egy bizonyos plazma ionizációs technikát alkalmaztak a bevonóanyag atomjainak részleges ionizálására ionokká. Ugyanakkor sok nagy energiájú semleges atom keletkezik, amelyek negatív előfeszítésűek az aljzaton. Ily módon az ionok mély negatív előfeszítés alatt rakódnak le az aljzat felületén, vékony filmet képezve.
Közzététel ideje: 2023. márc. 23.