Lakouch vakyòmPwosesis machin nan divize an: kouch evaporasyon vakyòm, kouch pulverizasyon vakyòm ak kouch iyon vakyòm.
1. Kouch evaporasyon vakyòm
Anba kondisyon vakyòm, fè materyèl la evapore, tankou metal, alyaj metal, elatriye, epi depoze yo sou sifas substra a. Metòd kouch evaporasyon an souvan itilize chofaj rezistans, epi answit bonbadman gwo bout bwa elektwon sou materyèl kouch la, fè yo evapore nan faz gaz, epi depoze yo sou sifas substra a. Istorikman, depo vapè vapè se premye teknoloji ki te itilize nan metòd PVD.
2. Kouch pulverizasyon
Gaz la sibi yon egzeyat lumineux anba kondisyon vakyòm plen ak (Ar). Nan moman sa a, atòm agon (Ar) yo transfòme an iyon nitwojèn (Ar). Iyon yo akselere pa fòs chan elektrik la epi yo bonbade sib katod la ki fèt ak materyèl kouch la. Sib la pral flite epi depoze sou sifas substra a. Iyon ensidan nan kouch flite, jeneralman jwenn pa egzeyat lumineux, yo nan seri 10-2pa a 10Pa. Kidonk, patikil flite yo fasil pou kolizyone ak molekil gaz yo nan chanm vakyòm nan lè y ap vole nan direksyon substra a, sa ki fè direksyon mouvman an o aza epi fim depoze a fasil pou inifòm.
3. Kouch iyon
Anba kondisyon vakyòm yo, anba kondisyon vakyòm, yo te itilize yon sèten teknik iyonizasyon plasma pou iyonize pasyèlman atòm materyèl kouch la an iyon. An menm tan, anpil atòm net ki gen gwo enèji pwodui, ki gen yon polarizasyon negatif sou substrat la. Nan fason sa a, iyon yo depoze sou sifas substrat la anba yon polarizasyon negatif pwofon pou fòme yon fim mens.
Dat piblikasyon: 23 Mas 2023