Covlub tshuab nqus tsev txheejtxheej txheem tshuab tau muab faib ua: lub tshuab nqus tsev evaporation txheej, lub tshuab nqus tsev sputtering txheej thiab lub tshuab nqus tsev ion txheej.
1, Nqus evaporation txheej
Nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev, ua rau cov khoom evaporated, xws li cov hlau, hlau alloy, thiab lwm yam. ces tso rau ntawm lub substrate nto, evaporation txheej txheej feem ntau siv cov cua sov, thiab ces electron beam bombardment ntawm cov khoom txheej, ua rau lawv evaporated mus rau hauv cov roj theem, ces tso rau ntawm lub substrate nto, keeb kwm, lub tshuab nqus tsev vaporation siv nyob rau hauv txoj kev ua ntej.
2, Sputtering txheej
Cov pa roj yog raug rau lub teeb ci nyob rau hauv (Ar)-filled lub tshuab nqus tsev nyob rau lub sijhawm no lub argon (Ar) atoms ion rau hauv nitrogen ions (Ar), Cov ions tau nrawm los ntawm lub zog ntawm lub zog hluav taws xob, thiab foob pob lub hom phiaj cathode uas yog ua los ntawm cov khoom siv txheej, lub hom phiaj yuav raug sputtered tawm thiab tso rau ntawm lub substrate nyob rau hauv qhov hluav taws xob tsis sib haum xeeb, thiab cov txheej txheem yuav raug muab tshem tawm. Qhov ntau ntawm 10-2pa rau 10Pa, Yog li cov khoom tawg yooj yim sib tsoo nrog cov roj molecules hauv lub tshuab nqus tsev thaum ya mus rau lub substrate, ua rau cov lus taw qhia random thiab cov zaj duab xis tso tau yooj yim kom zoo ib yam.
3. Ion txheej
Nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev, Nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev, Siv ib tug tej yam plasma ionisation txheej txheem rau ib feem ionise lub txheej cov ntaub ntawv atoms mus rau hauv ions.Tam sim no muaj ntau lub zog siab nruab nrab atoms yog tsim, uas yog tsis zoo biased rau lub substrate. Nyob rau hauv no txoj kev, ions yog deposited nyob rau hauv lub substrate nto nyob rau hauv ib tug sib sib zog nqus tsis zoo zaj duab xis.
Post lub sij hawm: Mar-23-2023